초록 ▼

본 발명은 복수 개의 서로 다른 전압준위를 가지는 스트레스전압을 복수 개의 단위소자에 동시에 인가시키고, 인가된 스트레스전압에 대한 단위소자들의 신뢰성 평가를 짧은 시간 내에 달성할 수 있는 신뢰성 평가회로 및 신뢰성 평가시스템을 개시한다. 상기 신뢰성평가회로는, 스트레스모드일 때 복수 개의 단위소자들에 스트레스전압을 인가하고, 측정모드일 때 상기 복수 개의 단위소자들의 신뢰성을 측정하는데 사용되는 것으로서, 스트레스전압 생성블록 및 스트레스소자 어레이를 구비한다. 상기 스트레스전압 생성블럭은 제어전압에 따라 2개의 기준전압을 이용

본 발명은 복수 개의 서로 다른 전압준위를 가지는 스트레스전압을 복수 개의 단위소자에 동시에 인가시키고, 인가된 스트레스전압에 대한 단위소자들의 신뢰성 평가를 짧은 시간 내에 달성할 수 있는 신뢰성 평가회로 및 신뢰성 평가시스템을 개시한다. 상기 신뢰성평가회로는, 스트레스모드일 때 복수 개의 단위소자들에 스트레스전압을 인가하고, 측정모드일 때 상기 복수 개의 단위소자들의 신뢰성을 측정하는데 사용되는 것으로서, 스트레스전압 생성블록 및 스트레스소자 어레이를 구비한다. 상기 스트레스전압 생성블럭은 제어전압에 따라 2개의 기준전압을 이용하여 생성시킨 서로 다른 전압준위를 가지는 복수 개의 스트레스전압들을 복수 개의 제1입출력라인들을 통해 출력한다. 상기 스트레스소자 어레이는 일 단자가 상기 복수 개의 제1입출력라인들 중 하나에 연결되고, 다른 일 단자는 복수 개의 제2입출력단자들 중 하나에 연결되어 매트릭스 형태로 배열된 복수 개의 단위소자를 구비한다.

대표청구항 ▼

스트레스모드일 때 복수 개의 단위소자들에 스트레스전압을 인가하고, 측정모드일 때 상기 복수 개의 단위소자들의 신뢰성을 측정하는 신뢰성 평가회로에 있어서, 제어전압(VC)에 따라 2개의 기준전압(V1, V2)을 이용하여 생성시킨 서로 다른 전압준위를 가지는 복수 개의 스트레스전압들을 복수 개의 제1입출력라인들을 통해 출력하는 스트레스전압 생성블럭(110); 및 일 단자가 상기 복수 개의 제1입출력라인들 중 하나에 연결되고, 다른 일 단자는 복수 개의 제2입출력단자들 중 하나에 연결되어 매트릭스 형태로 배열된 복수 개의 단위소자를 구비

스트레스모드일 때 복수 개의 단위소자들에 스트레스전압을 인가하고, 측정모드일 때 상기 복수 개의 단위소자들의 신뢰성을 측정하는 신뢰성 평가회로에 있어서, 제어전압(VC)에 따라 2개의 기준전압(V1, V2)을 이용하여 생성시킨 서로 다른 전압준위를 가지는 복수 개의 스트레스전압들을 복수 개의 제1입출력라인들을 통해 출력하는 스트레스전압 생성블럭(110); 및 일 단자가 상기 복수 개의 제1입출력라인들 중 하나에 연결되고, 다른 일 단자는 복수 개의 제2입출력단자들 중 하나에 연결되어 매트릭스 형태로 배열된 복수 개의 단위소자를 구비하는 스트레스소자 어레이(120)를 구비하는 신뢰성 평가회로.