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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0036978 (2009-04-28) |
공개번호 | 10-2010-0118246 (2010-11-05) |
등록번호 | 10-1107520-0000 (2012-01-12) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090036978 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-04-28) |
심사진행상태 | 등록결정(심사전치후) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 콜로이달 실리카를 함유하는 화학 기계적 연마용 슬러리에 관한 것으로 상기 콜로이달 실리카는 염기 촉매 하에 수용액 상에서 규소(Si) 분말을 산화시켜 실리카를 형성하는 직접 산화법으로 제조되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 화학기계적 연마용 슬러리에 함유되는 콜로이달 실리카는 직접 산화법으로 제조되어 제조비용이 저렴할 뿐만 아니라 불순물 함량이 적은 장점이 있으며, 화학기계적 연마 입자로 사용하기에 더욱 적합한 표면 형상 및 분산안정성을 가지게 되는 장점이 있고 구리를 포함하는 기판의 화학기계적 연마용으로 사용하기
슬러리 총 중량에 대하여 규소(Si) 분말을 직접 산화시켜 제조된 평균 입경이 20 내지 60nm인 10 내지 20 중량% 콜로이달 실리카, 0.5 내지 3 중량% 과산화수소, 0.45 내지 0.5 중량% 착화제, 0.001 내지 0.6 중량% 부식방지제, 0.01 내지 0.5 중량% 아미노알콜 및 슬러리의 pH를 9.6 내지 12 의 범위로 조절하는 pH 조절제를 함유하고 구리막 또는 탄탈륨막의 연마에 사용되는 구리 함유 기판의 2차 화학 기계적 연마용 슬러리.
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