IPC분류정보
국가/구분 |
한국(KR)/등록특허
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 |
10-2009-0066314
(2009-07-21)
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공개번호 |
10-2011-0008791
(2011-01-27)
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등록번호 |
10-1110294-0000
(2012-01-19)
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DOI |
http://doi.org/10.8080/1020090066314
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발명자
/ 주소 |
- 김민경
/ 경기 성남시 분당구 구미동 무지개마을 건영아파트 ****-***
- 김준호
/ 서울시 영등포구 도림동 쌍용플레티넘 ***동 ****호
- 정동현
/ 경기도 수원시 영통구 영통동 ****-* 황골풍림아파트 ***동 ***호
- 최승훈
/ 경기도 성남시 분당구 수내동 푸른마을 벽산 ***동 ****호
- 최기항
/ 서울 중랑구 묵동 이수브라운스톤아파트 ***동 ****호
- 유의상
/ 경기도 고양시 덕양구 화정동 은빛마을 *단지 ***동 ***호
- 손철원
/ 대전 유성구 전민동 ***-* 엑스포아파트 ***-****
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출원인 / 주소 |
- 주식회사 인실리코텍 / 경기도 성남시 분당구 대왕판교로 ***, 씨동 ***호 (삼평동, 코리아 바이오 파크)
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 |
있음 (2009-07-21) |
심사진행상태 |
등록결정(일반) |
법적상태 |
소멸 |
초록
▼
본 발명은 (a) 하기 화학식 1로 표시되는 비이온성 계면활성제; (b) 초순수(ultrapure water); 및 (c) 폴리에틸렌 글리콜(polyethylene glycol), 산화방지제, 금속부식방지제 및 pH 완충제로 이루어진 군에서 선택된 2종 이상의 첨가제를 포함하여 기판을 세정하는 데 사용되는 세정액 조성물, 및 이를 이용한 세정 방법에 대한 것이다:[화학식 1]R1-[(EO)x-(PO)y]z-R2(상기 화학식 1에서, 상기 EO는 에틸렌옥사이드(-CH2-CH2-O-)이고, 상기 PO는 프로필렌옥사이드(-CH(CH3)-
본 발명은 (a) 하기 화학식 1로 표시되는 비이온성 계면활성제; (b) 초순수(ultrapure water); 및 (c) 폴리에틸렌 글리콜(polyethylene glycol), 산화방지제, 금속부식방지제 및 pH 완충제로 이루어진 군에서 선택된 2종 이상의 첨가제를 포함하여 기판을 세정하는 데 사용되는 세정액 조성물, 및 이를 이용한 세정 방법에 대한 것이다:[화학식 1]R1-[(EO)x-(PO)y]z-R2(상기 화학식 1에서, 상기 EO는 에틸렌옥사이드(-CH2-CH2-O-)이고, 상기 PO는 프로필렌옥사이드(-CH(CH3)-CH2-O-) 또는 메틸프로필렌옥사이드(-CH2-CH(CH3)-CH2-O-)이며, 상기 EO와 PO는 랜덤 부가 또는 2 이상의 블록 부가에 의해 결합되고, 상기 x개의 EO와 y개의 PO의 서열 순서는 임의이며, 상기 x, y 및 z은 각각 독립적으로 1 내지 40의 정수이고, x/(x+y)는 0.1 내지 0.8 의 정수이며, 상기 R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소원자(-H), 수산기(-OH), 탄소수가 1 내지 20의 직쇄상 또는 분지상의 알킬기, 또는 탄소수가 1 내지 20의 직쇄상 또는 분지상의 알케닐기임).
대표청구항
▼
(a) 하기 화학식 1로 표시되는 비이온성 계면활성제;(b) 초순수(ultrapure water); 및(c) 폴리에틸렌 글리콜(polyethylene glycol), 산화방지제, 금속부식방지제 및 pH 완충제로 이루어진 군에서 선택된 3종 이상의 첨가제를 포함하여 기판을 세정하는 데 사용되는 세정액 조성물로서,상기 산화방지제는 부틸히드록시아니솔(butylated hydroxy anisole, BHA), 디부틸히드록시톨루엔(dibuthyl hydroxyl toluene, BHT) 및 t-부틸하이드로퀴논(t-butyl hydroquin
(a) 하기 화학식 1로 표시되는 비이온성 계면활성제;(b) 초순수(ultrapure water); 및(c) 폴리에틸렌 글리콜(polyethylene glycol), 산화방지제, 금속부식방지제 및 pH 완충제로 이루어진 군에서 선택된 3종 이상의 첨가제를 포함하여 기판을 세정하는 데 사용되는 세정액 조성물로서,상기 산화방지제는 부틸히드록시아니솔(butylated hydroxy anisole, BHA), 디부틸히드록시톨루엔(dibuthyl hydroxyl toluene, BHT) 및 t-부틸하이드로퀴논(t-butyl hydroquinone, TBHQ)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상이고,상기 pH 완충제는 제1 인산나트륨(NaH2PO4)-제2 인산나트륨(Na2HPO4), 플루오르화수소산(HF)-플루오르화암모늄((NH4)F), 아세트산(acetic acid)-아세트산나트륨(Sodium Acetate) 및 포름산암모늄(HCO2NH4)-암모니아수(NH4OH)로 이루어진 짝산-짝염기 중에서 선택된 1종 이상인 것이 특징인 세정액 조성물:[화학식 1]R1-[(EO)x-(PO)y]z-R2(상기 화학식 1에서, 상기 EO는 에틸렌옥사이드(-CH2-CH2-O-)이고, 상기 PO는 프로필렌옥사이드(-CH(CH3)-CH2-O-) 또는 메틸프로필렌옥사이드(-CH2-CH(CH3)-CH2-O-)이며, 상기 EO와 PO는 랜덤 부가 또는 2 이상의 블록 부가에 의해 결합되고, 상기 x개의 EO와 y개의 PO의 서열 순서는 임의이며, 상기 x, y 및 z은 각각 독립적으로 1 내지 40의 정수이고, 상기 x와 y는 x/(x+y) = 0.1 ~ 0.8를 만족하는 정수이며, 상기 R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소원자(-H), 수산기(-OH), 탄소수가 1 내지 20의 직쇄상 또는 분지상의 알킬기, 또는 탄소수가 1 내지 20의 직쇄상 또는 분지상의 알케닐기임).
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