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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0071666 (2009-08-04) | |
공개번호 | 10-2011-0013951 (2011-02-10) | |
등록번호 | 10-1243645-0000 (2013-03-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090071666 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-11-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
정전기력을 이용하여 미세먼지를 흡착하는 멤스 센서부; 상기 멤스 센서부에 부착되며, 상기 멤스 센서부를 공진시키는 구동부; 및 상기 멤스 센서부에 흡착된 상기 미세먼지로 인한 상기 센서부의 변위를 이용하여 상기 미세먼지의 질량을 검출하는 광 간섭계;를 포함하는 미세먼지 감지장치 및 이를 이용한 미세먼지 검출방법이 개시된다. 상기의 멤스 센서부에 의하여 실시간으로 미세먼지를 검출할 수 있으며, 미세먼지를 측정하기 위한 장치를 소형화하여 이동성을 증대시킬 수 있다.
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