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연합인증

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미세먼지 감지장치 및 이를 이용한 미세먼지 검출방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • B81B-007/02
  • G02B-027/00
출원번호 10-2009-0071666 (2009-08-04)
공개번호 10-2011-0013951 (2011-02-10)
등록번호 10-1243645-0000 (2013-03-08)
DOI http://doi.org/10.8080/1020090071666
발명자 / 주소
  • 박봉현 / 서울특별시 송파구 신천로 **, 장미아파트 **동 ****호 (신천동)
  • 이승백 / 경기도 용인시 기흥구 마북동 현대필그린아파트 **동 ****호
출원인 / 주소
  • 한양대학교 산학협력단 / 서울 성동구 행당동 ** 한양대학교 내
대리인 / 주소
  • 한승범; 유병욱
심사청구여부 있음 (2011-11-14)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

정전기력을 이용하여 미세먼지를 흡착하는 멤스 센서부; 상기 멤스 센서부에 부착되며, 상기 멤스 센서부를 공진시키는 구동부; 및 상기 멤스 센서부에 흡착된 상기 미세먼지로 인한 상기 센서부의 변위를 이용하여 상기 미세먼지의 질량을 검출하는 광 간섭계;를 포함하는 미세먼지 감지장치 및 이를 이용한 미세먼지 검출방법이 개시된다. 상기의 멤스 센서부에 의하여 실시간으로 미세먼지를 검출할 수 있으며, 미세먼지를 측정하기 위한 장치를 소형화하여 이동성을 증대시킬 수 있다.

대표청구항

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발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [미국] Microcantilever sensor | Thundat Thomas G., Wachter Eric A.
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