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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0089911 (2009-09-23) |
공개번호 | 10-2011-0032432 (2011-03-30) |
등록번호 | 10-1093362-0000 (2011-12-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090089911 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-09-23) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 유리 소재의 표면 세정 및 식각에 사용되는 유리 식각액에 대한 것으로, 특히 불화수소(HF), 불화암모늄(NH4F 또는 NH4HF2), 알콜, 비이온 계면활성제 및 음이온 계면활성제를 포함하는 것을 특징으로 한다.이러한 본 발명은 불소화합물로서 불화수소와 불화암모늄을 함께 포함하고, 여기에 알콜과 비이온 계면활성제 및 음이온 계면활성제를 더 포함함으로서, 종래보다 유리 표면에 생성되는 돌기, 웨이브, 스크래치 등이 적고, 모서리 생성물도 현저히 적은 표면 품질 개선 효과를 가진다.
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