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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0102533 (2009-10-28) |
공개번호 | 10-2011-0045819 (2011-05-04) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090102533 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 시안화 염을 포함하는 구리 또는 구리계 합금 표면의 산화방지제에 관한 것으로서, 구체적으로는 구리 또는 구리계 합금의 표면을 시안화 염 수용액으로 처리하는 경우 표면에 산화방지막이 형성되어 구리 또는 구리계 합금의 산화를 방지할 수 있게 된다.이러한 시안화 염의 특성을 이용하여 그동안 반도체 장비 부품 중에서 베릴륨-구리 합금으로 이루어진 부품이기 때문에 세정을 통해 재사용을 하는 것이 어려웠던 부품들을 세정하여 재사용할 수 있는 효과가 기대된다.
시안화 염을 포함하는 구리 또는 구리계 합금 표면의 산화방지제.
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