초록 ▼

자동화라인에서 웨이퍼의 기계적인 품질관리를 위한 방법 및 장치로서, 상기 방법은 웨이퍼 상의 사이즈 및 위치의 결정을 포함하는 크랙의 빠른 검출을 허용한다. 상기 방법은 웨이퍼를 액추에이터와 함께 커플링하는 단계, 적어도 두 개의 미리 설정된 공진 피크 주변에서 동시에 액추에이터의 주파수를 스위핑하여 웨이퍼의 초음파 진동의 중첩을 여기시키는 단계, 공진주파수, 진폭 및 대역폭을 기록하고, 기계적으로 음향 크랙이 없는 표준 웨이퍼를 위해 기록된 기준 주파수 곡선의 공진 주파수, 진폭 및 대역폭을 비교하는 단계를 포함한다. 비교를 기반

자동화라인에서 웨이퍼의 기계적인 품질관리를 위한 방법 및 장치로서, 상기 방법은 웨이퍼 상의 사이즈 및 위치의 결정을 포함하는 크랙의 빠른 검출을 허용한다. 상기 방법은 웨이퍼를 액추에이터와 함께 커플링하는 단계, 적어도 두 개의 미리 설정된 공진 피크 주변에서 동시에 액추에이터의 주파수를 스위핑하여 웨이퍼의 초음파 진동의 중첩을 여기시키는 단계, 공진주파수, 진폭 및 대역폭을 기록하고, 기계적으로 음향 크랙이 없는 표준 웨이퍼를 위해 기록된 기준 주파수 곡선의 공진 주파수, 진폭 및 대역폭을 비교하는 단계를 포함한다. 비교를 기반으로 하여, 불량 및 양호 명령은 통계적인 불량 알고리즘을 사용하여 생성된다.

대표청구항 ▼

자동화라인에서 웨이퍼의 품질관리를 위한 방법으로서,웨이퍼를 액추에이터와 함께 커플링하는 단계, 액추에이터의 주파수를 미리 설정된 주파수의 간격으로 동시에 스위핑하고 웨이퍼의 하나 이상의 예정된 영역에서 공진 진동을 기록함으로써 다수의 공진 주파수 곡선을 측정하는 단계,상기 측정된 공진 주파수 곡선과 대응하는 기준이 되는 공진 주파수 곡선을 각각 비교하는 단계,상기 측정된 공진 주파수 곡선과 기준이 되는 공진 주파수 곡선 간의 편차가 설정된 값을 초과하면 불량신호를 생성하는 단계,상기 웨이퍼와 액추에이터를 분리하는 단계를 포함하는 것

자동화라인에서 웨이퍼의 품질관리를 위한 방법으로서,웨이퍼를 액추에이터와 함께 커플링하는 단계, 액추에이터의 주파수를 미리 설정된 주파수의 간격으로 동시에 스위핑하고 웨이퍼의 하나 이상의 예정된 영역에서 공진 진동을 기록함으로써 다수의 공진 주파수 곡선을 측정하는 단계,상기 측정된 공진 주파수 곡선과 대응하는 기준이 되는 공진 주파수 곡선을 각각 비교하는 단계,상기 측정된 공진 주파수 곡선과 기준이 되는 공진 주파수 곡선 간의 편차가 설정된 값을 초과하면 불량신호를 생성하는 단계,상기 웨이퍼와 액추에이터를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동화라인에서 웨이퍼의 품질관리를 위한 방법.