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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0002904 (2010-01-12) |
공개번호 | 10-2011-0082951 (2011-07-20) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100002904 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-01-12) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 절연용 유리부분을 포함하는 수직관통형 실리콘 전극의 제작 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) 실리콘 웨이퍼의 한 면에, 실리콘 전극을 형성하기 위한 보호 패턴을 형성하는 단계; (2) 형성된 상기 보호 패턴을 이용하여, 상기 실리콘 웨이퍼를 식각하여 실리콘 전극을 형성하는 단계; (3) 실리콘 전극이 형성된 상기 실리콘 웨이퍼와 유리 웨이퍼를 접합하는 단계; (4) 접합된 상기 유리 웨이퍼를 녹이는 단계; 및 (5) 실리콘 전극의 두께만큼만 남도록, 접합된 상기 실리콘 웨이퍼와 상기 유리 웨이퍼의 양면을 가공
절연용 유리부분을 포함하는 수직관통형 실리콘 전극을 제작하는 방법으로서,(1) 실리콘 웨이퍼의 한 면에, 실리콘 전극을 형성하기 위한 보호 패턴을 형성하는 단계;(2) 형성된 상기 보호 패턴을 이용하여, 상기 실리콘 웨이퍼를 식각하여 실리콘 전극을 형성하는 단계;(3) 실리콘 전극이 형성된 상기 실리콘 웨이퍼와 유리 웨이퍼를 접합하는 단계;(4) 접합된 상기 유리 웨이퍼를 녹이는 단계; 및(5) 미리 지정된 두께만큼 남도록, 접합된 상기 실리콘 웨이퍼와 상기 유리 웨이퍼의 양면을 가공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 절연용
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