선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2010-0014247 (2010-02-17) |
등록번호 | 10-1057460-0000 (2011-08-10) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100014247 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2010-02-17) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
타이틀러 시스템의 마커들 위치를 조정하기 위한 보정 옵셋 측정방법이 개시된다. 개시되는 보정 옵셋 측정방법은, 타이틀러 시스템에 의해 기판 상에 복수개의 마커들을 형성하는 단계; 상기 마커들 사이의 거리를 측정하는 단계; 및 상기 측정된 거리들과 원의 방정식을 이용하여 상기 마커들 각각에 대한 위치 보정 옵셋을 계산하는 단계;를 포함한다.
타이틀러 시스템에 의해 기판 상에 복수개의 마커들을 형성하는 단계;상기 마커들 사이의 거리를 측정하는 단계; 및상기 측정된 거리들과 원의 방정식을 이용하여 상기 마커들 각각에 대한 위치 보정 옵셋을 계산하는 단계;를 포함하는 마커들의 보정 옵셋 측정방법.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.