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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0019499 (2010-03-04) |
공개번호 | 10-2011-0100478 (2011-09-14) |
등록번호 | 10-1195972-0000 (2012-10-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100019499 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-03-04) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 명세서에서는 ZnO 나노선을 이용한 UV 센서 제조 방법 및 UV 센서를 제공한다. 본 명세서의 일 실시예에 따른 ZnO 나노선을 이용한 UV 센서 제조 방법은 기판에 나노선 FET 소자를 형성하는 단계, 상기 소자에서 형성된 나노선에 Ti 나노 입자를 형성하는 단계, 및 상기 Ti 나노입자를 열공정으로 산화시켜 TiO2 나노입자를 상기 나노선의 표면에 코팅시키는 단계를 포함한다.
기판에 ZnO 나노선을 이용하여 FET 소자를 형성하는 단계;상기 ZnO 나노선 표면에 Ti 나노 입자를 형성하는 단계; 및상기 Ti 나노입자를 열공정으로 산화시켜 TiO2 나노입자를 상기 ZnO 나노선의 표면에 코팅시키는 단계를 포함하는, ZnO 나노선을 이용한 UV 센서 제조 방법
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