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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0040395 (2010-04-30) |
공개번호 | 10-2011-0121004 (2011-11-07) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100040395 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 주사 전자 현미경의 전자총 전원 공급 장치에 관한 것으로, 고전압 속에서 필라멘트의 가열이 가능한 전류의 흐름이 가능하도록 상기 필라멘트와 바이어스의 2차측이 플로우팅되는 것을 특징으로 한다.이에 따라, 진공관이 파괴되는 등의 이유로 고압의 누설이 발생하는 경우, 보호 회로의 동작에 따라 필라멘트의 1차 측으로의 전원 유입을 차단함으로써 전류가 회로에 유기되는 것을 방지할 수 있게 된다.
주사 전자 현미경의 전자총 전원 공급 장치에 있어서,고전압 속에서 필라멘트의 가열이 가능한 전류의 흐름이 가능하도록 상기 필라멘트와 바이어스의 2차측이 플로우팅되는 것을 특징으로 하는 주사 전자 현미경의 전자총 전원 공급 장치.
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