IPC분류정보
국가/구분 |
한국(KR)/공개특허
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 |
10-2010-0055456
(2010-06-11)
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공개번호 |
10-2011-0135621
(2011-12-19)
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DOI |
http://doi.org/10.8080/1020100055456
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발명자
/ 주소 |
- 이성식
/ 서울 양천구 신정동 ****번지 동일하이빌 ***동 ***호
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출원인 / 주소 |
- (주)쏠라스카이 / 서울 구로구 신도림동 ***번지 *차 푸르지오 *** -***
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 |
취하(심사미청구) |
법적상태 |
취하 |
초록
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본 발명은 박막형 비정질 실리콘 태양전지 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 한 개 층에 비정질 실리콘 및 결정질 실리콘이 혼합된 복합 박막을 적어도 하나 이상 구비된 태양전지층이 적층되고, 태양전지층 내에 버퍼층을 포함하는 박막형 비정질 실리콘 태양전지에 있어서, 비정질 실리콘은 실란(Silane)(SiH4), 디실란(Disilane)(Si2H6), 사이클로펜타실란(Cyclopentasilane)(Si5H10), 사이클로헥사실란(Cyclohexasilane) (Si6H12) 중 어느 하나 이상이며, 복합 박막은 비정
본 발명은 박막형 비정질 실리콘 태양전지 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 한 개 층에 비정질 실리콘 및 결정질 실리콘이 혼합된 복합 박막을 적어도 하나 이상 구비된 태양전지층이 적층되고, 태양전지층 내에 버퍼층을 포함하는 박막형 비정질 실리콘 태양전지에 있어서, 비정질 실리콘은 실란(Silane)(SiH4), 디실란(Disilane)(Si2H6), 사이클로펜타실란(Cyclopentasilane)(Si5H10), 사이클로헥사실란(Cyclohexasilane) (Si6H12) 중 어느 하나 이상이며, 복합 박막은 비정질 실리콘을 매트릭스(matrix)로 하여 분산된 결정질 실리콘 입자를 포함하고, 결정질 실리콘은 입자의 크기가 약 1nm 내지 700nm의 나노 결정 실리콘이고, 버퍼층은 게르마늄, Si:H의 탄화물, 산화물, 질화물 및 불화물 중 적어도 하나 이상이며, 버퍼층의 결정구조는 비정질, 미결정, 다결정의 단일 구조 또는 둘 이상의 복합구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막형 비정질 실리콘 태양전지에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 비정질 실리콘과 나노 결정질 실리콘으로 구성된 태양전지용 복합 박막으로 이루어져 이를 이용함으로써 복합 박막을 가지는 고효율의 태양전지를 간편하고 간단한 공정과정과 저비용으로 제조할 수 있어 생산비용면에서 경제적인 효과가 있다.또한, 본 발명은 태양광 또는 라이트 쇼킹(Light-Soaking)에 의한 태양전지의 열화율을 최소화함으로써 태양전지의 변환효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.또한, 본 발명은 반도체층의 증착속도를 증가시키더라도 태양전지의 열화율을 최소화할 수 있으므로 박막형 태양전지의 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
대표청구항
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한 개 층에 비정질 실리콘 및 결정질 실리콘이 혼합된 복합 박막을 적어도 하나 이상 구비된 태양전지층이 적층되고, 상기 태양전지층 내에 버퍼층을 포함하는 박막형 비정질 실리콘 태양전지에 있어서,상기 비정질 실리콘은 실란(Silane)(SiH4), 디실란(Disilane)(Si2H6), 사이클로펜타실란(Cyclopentasilane)(Si5H10), 사이클로헥사실란(Cyclohexasilane) (Si6H12) 중 어느 하나 이상이며, 상기 복합 박막은 상기 비정질 실리콘을 매트릭스(matrix)로 하여 분산된 결정질 실리콘 입자를
한 개 층에 비정질 실리콘 및 결정질 실리콘이 혼합된 복합 박막을 적어도 하나 이상 구비된 태양전지층이 적층되고, 상기 태양전지층 내에 버퍼층을 포함하는 박막형 비정질 실리콘 태양전지에 있어서,상기 비정질 실리콘은 실란(Silane)(SiH4), 디실란(Disilane)(Si2H6), 사이클로펜타실란(Cyclopentasilane)(Si5H10), 사이클로헥사실란(Cyclohexasilane) (Si6H12) 중 어느 하나 이상이며, 상기 복합 박막은 상기 비정질 실리콘을 매트릭스(matrix)로 하여 분산된 결정질 실리콘 입자를 포함하고, 상기 결정질 실리콘은 입자의 크기가 1nm 내지 700nm의 나노 결정 실리콘이고, 상기 버퍼층은 게르마늄, Si:H의 탄화물, 산화물, 질화물 및 불화물 중 적어도 하나 이상이며, 상기 버퍼층의 결정구조는 비정질, 미결정, 다결정의 단일 구조 또는 둘 이상의 복합구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막형 비정질 실리콘 태양전지.
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