초록 ▼

본 발명은 세라믹칩의 전기적 특성을 측정할 수 있는 성능검사기에 관한 것으로, 특히 압전소자(PZT : piezoelectric transducer)로 구동되어지는 액츄에이터를 이용하며, PZT액츄에이터(5)에서 발생하는 미소 진동 변위를 지렛대(4)에 전달하여 증폭시킬 수 있도록, 접촉부위를 지렛대에 결합 할 수 있는 지렛대 부속(8)으로 구성하여 반도체칩의 전기적 특성을 검사할 수 있는 구동부가 되며, PZT액츄에이터(5)에서 진동변위 증폭 기구부인 지렛대(4)로 힘을 전달하는 과정에서 예압을 주는 예압부(6)로 구성되어진 구성

본 발명은 세라믹칩의 전기적 특성을 측정할 수 있는 성능검사기에 관한 것으로, 특히 압전소자(PZT : piezoelectric transducer)로 구동되어지는 액츄에이터를 이용하며, PZT액츄에이터(5)에서 발생하는 미소 진동 변위를 지렛대(4)에 전달하여 증폭시킬 수 있도록, 접촉부위를 지렛대에 결합 할 수 있는 지렛대 부속(8)으로 구성하여 반도체칩의 전기적 특성을 검사할 수 있는 구동부가 되며, PZT액츄에이터(5)에서 진동변위 증폭 기구부인 지렛대(4)로 힘을 전달하는 과정에서 예압을 주는 예압부(6)로 구성되어진 구성품들을 지지할 수 있는 지그상부(1)와 지그하부(7)로 구성된다.이와 같이, IT 제품의 핵심 전자부품 중 MLCC, 칩 인덕트, 칩 바리스터, 칩 저항 등의 전기적 특성을 검사하기 위해서는 고속으로 리노핀을 탐침하여 접촉 검사하는 바, 이에 필요한 PZT액츄에이터를 이용하여 세라믹칩의 전기적 특성을 측정할 수 있는 성능검사기로 개선된 것이다.

대표청구항

리노핀(3)의 탐침을 위해 진동변위를 주는 PZT액츄에이터(5)와 진동변위를 증폭시켜주는 기구부(4), 리노핀이 한점을 탐침할 수 있게 잡아주는 리노핀가이드(2)로 이루어져 세라믹칩의 전기적인 특성을 검사하는 구동부가 되며, PZT액츄에이터(5)에서 진동변위 증폭 기구부(4)로 힘을 전달하는 과정에서 예압을 주는 예압부(6)로 구성되어진 구성품들을 지지할 수 있는 지그상부(1)와 지그하부(7)로 이루어져 세라믹칩의 전기적 특성을 측정하는 성능검사기.

리노핀(3)의 탐침을 위해 진동변위를 주는 PZT액츄에이터(5)와 진동변위를 증폭시켜주는 기구부(4), 리노핀이 한점을 탐침할 수 있게 잡아주는 리노핀가이드(2)로 이루어져 세라믹칩의 전기적인 특성을 검사하는 구동부가 되며, PZT액츄에이터(5)에서 진동변위 증폭 기구부(4)로 힘을 전달하는 과정에서 예압을 주는 예압부(6)로 구성되어진 구성품들을 지지할 수 있는 지그상부(1)와 지그하부(7)로 이루어져 세라믹칩의 전기적 특성을 측정하는 성능검사기.