초록

SAW 습도 센서가 개시된다. 본 SAW 습도 센서는, 기판, 기판상에 적층되며, 질화알루미늄(AlN)으로 이루어지는 압전층, 압전층 상의 일 측에 형성되며, 외부 신호 인가에 따라 인가되는 신호를 표면 탄성파로 변환하는 입력부, 압전층 상에 형성되며, 변환된 표면 탄성파가 입력되면, 습도를 센싱하여 센싱된 습도에 대응되는 표면 탄성파를 출력하는 센싱층, 및 압전층 상의 타 측에 형성되며, 출력되는 표면 탄성파를 해석하여 전기적 신호로 변환하는 출력부를 포함하며, 센싱층은 산화아연(ZnO)으로 이루어진다.

대표청구항 ▼

기판;상기 기판상에 적층되며, 질화알루미늄(AlN)으로 이루어지는 압전층;상기 압전층 상의 일 측에 형성되며, 외부 신호 인가에 따라 인가되는 신호를 표면 탄성파로 변환하는 입력부;상기 압전층 상에 형성되며, 상기 변환된 표면 탄성파가 입력되면, 습도를 센싱하여 상기 센싱된 습도에 대응되는 표면 탄성파를 출력하는 센싱층; 및상기 압전층 상의 타 측에 형성되며, 상기 출력되는 표면 탄성파를 해석하여 전기적 신호로 변환하는 출력부;를 포함하며,상기 압전층은 펄스 반응성 마그네트론 스퍼터링(pulse reactive magnetron s

기판;상기 기판상에 적층되며, 질화알루미늄(AlN)으로 이루어지는 압전층;상기 압전층 상의 일 측에 형성되며, 외부 신호 인가에 따라 인가되는 신호를 표면 탄성파로 변환하는 입력부;상기 압전층 상에 형성되며, 상기 변환된 표면 탄성파가 입력되면, 습도를 센싱하여 상기 센싱된 습도에 대응되는 표면 탄성파를 출력하는 센싱층; 및상기 압전층 상의 타 측에 형성되며, 상기 출력되는 표면 탄성파를 해석하여 전기적 신호로 변환하는 출력부;를 포함하며,상기 압전층은 펄스 반응성 마그네트론 스퍼터링(pulse reactive magnetron sputtering)에 의해 적층되며,상기 센싱층은 갈륨(Ga)으로 도핑된 산화아연(ZnO)으로 이루어지며,상기 갈륨(Ga)은 최대값으로 3wt.%의 도펀트 레벨을 가지며,상기 센싱층의 표면은, 공기 중의 증기를 흡수할 수 있는 스폰지 형태인 것을 특징으로 하는 SAW 습도 센서.