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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0117206 (2010-11-24) |
공개번호 | 10-2012-0055804 (2012-06-01) |
등록번호 | 10-1211650-0000 (2012-12-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100117206 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-11-24) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 그래핀 제조 방법, 그래핀 제조 장치, 및 그래핀을 제공한다. 이 그래핀 제조 방법은 처리 용기 내에 시료를 제공하는 단계, 시료를 공중 부양하는 단계, 및 공중 부양된 시료의 모든 표면에 그래핀을 성장시키는 단계를 포함한다.
처리 용기 내에 시료를 제공하는 단계;상기 시료를 공중 부양하는 단계; 및공중 부양된 시료의 모든 표면에 그래핀을 성장시키는 단계를 포함하고,공중 부양된 시료의 모든 표면에 그래핀을 성장시키는 단계는:수소 및 탄소를 포함하는 공정 가스를 플라즈마 처리하여 상기 처리 용기 내에 제공하는 단계; 및상기 시료를 가열하여 그래핀을 형성하는 단계를 포함하고,상기 시료는 구형 또는 입체형태인 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 방법.
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