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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0121266 (2010-12-01) |
공개번호 | 10-2012-0059810 (2012-06-11) |
등록번호 | 10-1196318-0000 (2012-10-25) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100121266 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-12-01) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명에서는 이미지 센서의 마이크로 렌즈 형성 방법에 있어서, 그레이 톤 마스크를 2 단계로 나누어 설계한 후, 두 차례에 걸쳐 노광 공정을 수행하여 마이크로 렌즈를 형성시킴으로써, 종래 열적 리플로우를 이용하여 형성하는 마이크로 렌즈보다 개선된 데드 존을 얻을 수 있으며, 마이크로 렌즈내 각 픽셀별 곡률을 자유롭게 조절할 수 있다. 또한, 그레이 톤 마스크를 이용하여 마이크로 렌즈를 형성하는 경우 종래 열적 리플로우 공정에 필요한 브리칭(bleaching)과 하드 베이크(hard bake) 과정이 필요 없게 되어 공정을 단순화할
마이크로 렌즈 제조 방법으로서,반도체 기판 상 마이크로 렌즈 형성 영역에 제 1 렌즈형성물질층을 형성하는 단계,제 1 마스크를 이용하여 상기 1 렌즈형성물질층 제1 마이크로 렌즈로 형성하는 단계와,상기 마이크로 렌즈 형성 영역 상, 상기 제 1 마이크로 렌즈에 인접한 영역에 제 2 렌즈형성물질층을 형성하는 단계와,상기 제 1마스크와 다른 타입의 제 2 마스크를 이용하여 상기 2 렌즈형성물질층을 제2 마이크로 렌즈로 형성하는 단계를 포함하는 마이크로 렌즈 제조 방법.
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