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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0125570 (2010-12-09) |
공개번호 | 10-2012-0064372 (2012-06-19) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100125570 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-12-09) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 박막 제조방법에 관한 것으로, Ni 및 Fe를 기판에 증착한 후, Ni 및 Fe가 증착된 기판을 열처리하여 이루어지는 박막 제조방법에 있어서,상기 기판은, Ni 및 Fe가 증착되는 증착과정과, 열처리 과정이 동일 챔버 내에서 이루어지는 것을 특징으로 하여, 열처리 후 포화자화값이 낮아지지 않도록 하는 효과가 있다.
Ni 및 Fe를 기판에 증착한 후, Ni 및 Fe가 증착된 기판을 열처리하여 이루어지는 박막 제조방법에 있어서,상기 기판은, Ni 및 Fe가 증착되는 증착과정과, 열처리 과정이 동일 챔버 내에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 제조방법.
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