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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0135251 (2010-12-27) |
공개번호 | 10-2012-0073473 (2012-07-05) |
등록번호 | 10-1207684-0000 (2012-11-27) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100135251 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-12-27) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
고온물체의 경우에도 표면의 박막에 대하여 시간지연 없이 실시간으로 신뢰성 높은 박막 두께 측정이 가능한 박막 두께 측정장치 및 박막 두께 측정방법이 제안된다. 제안된 박막 두께 측정장치는, 광을 출사하는 광원; 광원에서 출사된 출사광을 필터링하여 박막이 형성된 강판으로 전달하는 필터; 박막이 형성된 강판으로부터 반사되는 광에 대한 스펙트럼을 획득하는 분광기; 및 분광기에서 획득된 스펙트럼을 기초로, 박막의 두께를 산출하는 연산부;를 포함하며, 필터는 출사광의 파장 구간 중 적어도 하나의 구간을 차단하며, 연산부는 분광기에서 획득된
광을 출사하는 광원;상기 광원에서 출사된 출사광을 필터링하여 박막이 형성된 강판으로 전달하는 필터;상기 박막이 형성된 강판으로부터 반사되는 광에 대한 스펙트럼을 획득하는 분광기; 및상기 분광기에서 획득된 스펙트럼을 기초로, 상기 박막의 두께를 산출하는 연산부;를 포함하며,상기 필터는 상기 출사광의 파장 구간 중 적어도 하나의 구간을 차단하며,상기 연산부는 상기 분광기에서 획득된 스펙트럼 중 상기 필터에 의해 차단된 구간 부분의 스펙트럼을 이용하여 열복사 잡음 스펙트럼을 산출하고, 상기 분광기에서 획득된 스펙트럼에서 상기 열복사 잡음
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