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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2011-0018354 (2011-03-02) |
| 등록번호 | 10-1091466-0000 (2011-12-01) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020110018354 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2011-03-02) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은, 진공 챔버와 같은 챔버 내에서 플라즈마를 이용하는 경우 챔버 내부를 촬영하여 플라즈마 방전 상태를 용이하게 관찰할 수 있게 하는 플라즈마 촬영장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 진공 챔버 안에 카메라를 설치하여 플라즈마 방전 형상을 촬영하므로 플라즈마 방전 형상을 실시간으로 용이하게 관찰할 수 있고, 특히, 고 진공 영역에서 카메라에 의한 촬영 사진의 해상도가 떨어지는 문제의 원인을 규명하고 이를 해결한바, 고 진공에서도 고해상도의 플라즈마 방전을 촬영할 수 있는 플라즈마 촬영시스템을 제공할 수 있다.
진공 챔버를 10-4 torr 이하의 압력인 높은 진공도로 고 진공화하고 플라즈마 방전을 일으키는 경우, 상기 진공 챔버 내에 촬영 동작을 원격 조종할 수 있는 카메라 모듈을 장착하고; 상기 진공도에 도달하도록 진공펌프를 가동하는 동안은 상기 카메라 모듈을 동작시키지 않고, 10-4 torr이하의 압력인 고 진공도에 도달하고 플라즈마가 방전된 이후에는 상기 카메라 모듈의 촬영을 소정 시간 간격을 두고 간헐적으로 동작시켜 플라즈마 방전 형상을 촬영하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 촬영 시스템.
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