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연합인증

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증착 마스크 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-051/00
  • B05C-021/00
  • C23C-014/04
  • C23C-016/04
출원번호 10-2011-0023028 (2011-03-15)
공개번호 10-2012-0105295 (2012-09-25)
등록번호 10-1853265-0000 (2018-04-24)
DOI http://doi.org/10.8080/1020110023028
발명자 / 주소
  • 이상신 / 경기도 화성시 영통로**번길 **, 두산위브아파트 ***동 ***호 (반월동)
출원인 / 주소
  • 삼성디스플레이 주식회사 / 경기도 용인시 기흥구 삼성로 * (농서동)
대리인 / 주소
  • 특허법인가산
심사청구여부 있음 (2016-01-28)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

증착 마스크가 제공된다. 증착 마스크는 중앙부에 개방된 윈도우를 정의하는 마스크 프레임으로서, 외면에 형성된 제1 개구 및 제2 개구, 및 내부에 형성되며 제1 개구와 제2 개구를 공간적으로 연결하는 제1 연결통로를 포함하는 마스크 프레임 및 마스크 프레임 상에 배치된 마스크 시트를 포함하되, 마스크 프레임의 일면은 마스크 시트와 대향하며, 마스크 시트와 고정되는 고정영역을 포함하고, 제1 개구는 일면 상에서 고정영역을 기준으로 개방된 윈도우 반대 측에 위치한다.

대표청구항

중앙부에 개방된 윈도우를 정의하는 마스크 프레임으로서, 외면에 형성된 제1 개구 및 제2 개구, 및 내부에 형성되며 상기 제1 개구와 상기 제2 개구를 공간적으로 연결하는 제1 연결통로를 포함하는 마스크 프레임; 및 상기 마스크 프레임 상에 배치된 마스크 시트를 포함하되,상기 마스크 시트는 상기 마스크 프레임의 일면과 대향하도록 배치되고, 상기 제1 개구는 상기 마스크 프레임의 상기 일면에 형성되며,상기 제2 개구는 상기 윈도우를 기준으로 상기 제1 개구보다 외측에 위치하는 증착 마스크.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 유기이엘용 스트레칭 마스크 프레임 및 그의 운용방법 | 김봉호
  2. [한국] 마스크 조립체 및 이를 이용한 평판표시장치용 증착 장치 | 성동영, 장대식
  3. [일본] METAL MASK FRAME BLOCK, AND METHOD AND IMPLEMENT FOR MANUFACTURING THE SAME | MAEKAWA SHINYA, HOSHINO ATSUSHI, SHIRASAKI SUSUMU, UMEZAKI TAKASHI

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. [한국] 저압 툴 교체를 허용하는 얇은 필름 캡슐화 프로세싱 시스템 및 프로세스 키트 | 쿠리타, 시니치, 쿠델라, 요제프, 화이트, 존 엠., 하스, 디터
  2. [한국] 저압 툴 교체를 허용하는 얇은 필름 캡슐화 프로세싱 시스템 및 프로세스 키트 | 쿠리타, 시니치, 쿠델라, 요제프, 화이트, 존 엠., 하스, 디터
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