최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2011-0039585 (2011-04-27) |
공개번호 | 10-2012-0121655 (2012-11-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110039585 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2011-04-27) |
심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치 및 방법으로서, 대기압 반응로(10)와, 코팅 대상인 유기전계 발광소자(OLED)(30)가 안착되도록 상기 대기압 반응로(10)내에 설치되는 접지 치구(ground electrode)(20)와, RF에너지를 인가받아 대기압에 노출된 상태에서 플라즈마 방전을 일으키도록 상기 접지 치구(20)상에 소정 간격을 두고 설치되는 DBD(Dielectric Barrel Discharge) 코팅전극(electrode)(40)과, 상기 DBD 코팅 전극(40)과 접지 치구(20)
대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치로서,대기압 반응로와,코팅 대상인 상기 유기전계 발광소자(OLED)가 안착되도록 상기 대기압 반응로내에 설치되는 접지 치구(ground electrode)와,RF에너지를 인가받아 대기압에 노출된 상태에서 플라즈마 방전을 일으키도록 상기 접지 치구상에 소정 간격을 두고 설치되는 DBD(Dielectric Barrel Discharge) 코팅전극(electrode)과,상기 DBD 코팅 전극과 접지치구 사이의 공간에 HMDSO 프리커셔를 포함하는 혼합 공정가스를 공급하는 공정가스 공급
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.