초록 ▼

본 발명은 대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치 및 방법으로서, 대기압 반응로(10)와, 코팅 대상인 유기전계 발광소자(OLED)(30)가 안착되도록 상기 대기압 반응로(10)내에 설치되는 접지 치구(ground electrode)(20)와, RF에너지를 인가받아 대기압에 노출된 상태에서 플라즈마 방전을 일으키도록 상기 접지 치구(20)상에 소정 간격을 두고 설치되는 DBD(Dielectric Barrel Discharge) 코팅전극(electrode)(40)과, 상기 DBD 코팅 전극(40)과 접지 치구(20)

본 발명은 대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치 및 방법으로서, 대기압 반응로(10)와, 코팅 대상인 유기전계 발광소자(OLED)(30)가 안착되도록 상기 대기압 반응로(10)내에 설치되는 접지 치구(ground electrode)(20)와, RF에너지를 인가받아 대기압에 노출된 상태에서 플라즈마 방전을 일으키도록 상기 접지 치구(20)상에 소정 간격을 두고 설치되는 DBD(Dielectric Barrel Discharge) 코팅전극(electrode)(40)과, 상기 DBD 코팅 전극(40)과 접지 치구(20) 사이의 공간에 HMDSO 프리커셔를 포함하는 혼합 공정가스를 공급하는 공정가스 공급부(100)를 포함한다.본 발명에 의하면, 종래의 히팅 장치가 필요 없으며, 대기압에서 제조가 가능하므로 공정 시간 단축 및 장치 구조가 간단해지며, 또한 발수 특성을 가지는 실리콘 화합물 단일 투습막으로 투습 방지 효과를 가지게 되며, 이외에도 수분에 민감한 전자기기에 사용되는 PCB 기판 표면에도 적용이 가능하므로, 발수 특성이 요구되는 방수 필름 및 방오염 건축 외장재에도 응용 적용이 가능한 효과를 가진다.

대표청구항 ▼

대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치로서,대기압 반응로와,코팅 대상인 상기 유기전계 발광소자(OLED)가 안착되도록 상기 대기압 반응로내에 설치되는 접지 치구(ground electrode)와,RF에너지를 인가받아 대기압에 노출된 상태에서 플라즈마 방전을 일으키도록 상기 접지 치구상에 소정 간격을 두고 설치되는 DBD(Dielectric Barrel Discharge) 코팅전극(electrode)과,상기 DBD 코팅 전극과 접지치구 사이의 공간에 HMDSO 프리커셔를 포함하는 혼합 공정가스를 공급하는 공정가스 공급

대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치로서,대기압 반응로와,코팅 대상인 상기 유기전계 발광소자(OLED)가 안착되도록 상기 대기압 반응로내에 설치되는 접지 치구(ground electrode)와,RF에너지를 인가받아 대기압에 노출된 상태에서 플라즈마 방전을 일으키도록 상기 접지 치구상에 소정 간격을 두고 설치되는 DBD(Dielectric Barrel Discharge) 코팅전극(electrode)과,상기 DBD 코팅 전극과 접지치구 사이의 공간에 HMDSO 프리커셔를 포함하는 혼합 공정가스를 공급하는 공정가스 공급부를 포함하는대기압 플라즈마를 이용한 OLED 투습 방지막 코팅장치.