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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-0049961 (2011-05-26) | |
공개번호 | 10-2012-0131644 (2012-12-05) | |
등록번호 | 10-1291552-0000 (2013-07-25) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110049961 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-05-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 에칭액 재생 및 구리 회수 장치 및 방법에 관한 것으로서, 구리가 함유된 에칭액을 전기분해로 재생함과 동시에 구리를 회수하기 위한 에칭액 재생 및 구리 회수 장치로서, 에칭공정이 수행되는 에칭조와; 상기 에칭조에서 생성된 폐 에칭액을 재생시키기 위한 재생조와; 상기 재생조에서 석출된 구리를 회수하기 위한 회수조와; 상기 에칭조와 재생조와 회수조를 제어하기 위한 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.이에 의해, 에칭조에서 에칭이 진행됨에 따라 노화되는 폐 에칭액을 재생조로 이송시키고, 이를 전기분해 방식으로 실시간 재생시
구리가 함유된 에칭액을 전기분해로 재생함과 동시에 구리를 회수하기 위한 에칭액 재생 및 구리 회수 장치로서,에칭공정이 수행되는 에칭조와;상기 에칭조에서 생성된 폐 에칭액을 재생시키기 위한 재생조와;상기 재생조에서 석출된 구리를 회수하기 위한 회수조와;상기 에칭조와 재생조와 회수조를 제어하기 위한 제어부;를 포함하며,상기 재생조는,미리 설정된 소정의 전원이 인가되는 양극전극을 포함하며, 상기 폐 에칭액이 이송되는 양극실과;미리 설정된 소정의 전원이 인가되는 음극전극을 포함하는 음극실과;상기 양극실과 음극실 사이에 배치되는 이온교환막;
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