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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2011-0083994 (2011-08-23) | |
| 공개번호 | 10-2013-0021621 (2013-03-06) | |
| 등록번호 | 10-1446615-0000 (2014-09-25) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020110083994 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2011-12-23) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 타겟 제조방법에 관한 것으로서 더욱 상세하게는 산화인듐(In2O3) 분말과, 산화갈륨(Ga2O3) 분말, 및 산화아연(ZnO) 분말을 분산제와 혼합하여 각각 분산시키는 IGZO 타겟 제조방법 및 이에 의해 제조된 IGZO 타겟에 관한 것이다.이를 위해 본 발명은 산화인듐(In2O3) 분말과, 산화갈륨(Ga2O3) 분말, 및 산화아연(ZnO) 분말을 분산제와 혼합하여 각각 분산시키는 분산 과정, 및 각각 분산된 상기 산화인듐 분말과, 산화갈륨 분말, 및 산화아연 분말을 혼합하여 성형체로 제조한 후 소결하는 소결 과정을 포함
산화인듐(In2O3) 분말과, 산화갈륨(Ga2O3) 분말, 및 산화아연(ZnO) 분말을 분산제와 혼합하여 각각 분산시키는 분산 과정; 및각각 분산된 상기 산화인듐 분말과, 산화갈륨 분말, 및 산화아연 분말을 혼합하여 성형체로 제조한 후 소결하는 소결 과정을 포함하고,상기 소결 과정은각각 분산된 상기 산화인듐 분말과, 산화갈륨 분말, 및 산화아연 분말을 혼합하여 슬러리를 생성하는 슬러리 생성단계;상기 슬러리에 바인더를 첨가하는 바인더 첨가단계;바인더가 첨가된 상기 슬러리를 분무 건조하여 과립분말로 만드는 과립화단계;상기 과립분말을 성
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