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연합인증

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산화물 반도체 박막트랜지스터 및 그 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-029/786
  • H01L-021/336
출원번호 10-2011-0087114 (2011-08-30)
공개번호 10-2013-0023980 (2013-03-08)
등록번호 10-1824651-0000 (2018-01-26)
DOI http://doi.org/10.8080/1020110087114
발명자 / 주소
  • 박세희 / 부산광역시 동래구 연안로**번길 **-** (안락동)
  • 이슬 / 경기도 파주시 월롱면 엘씨디로 *** ***동 ****호 (덕은리,정다운마을)
출원인 / 주소
  • 엘지디스플레이 주식회사 / 서울특별시 영등포구 여의대로 ***(여의도동)
대리인 / 주소
  • 특허법인네이트
심사청구여부 있음 (2016-08-30)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은, 기판과; 상기 기판 상부에 형성되는 게이트전극과; 상기 게이트전극 상부에 제 1 물질로 형성되는 게이트절연막과; 상기 게이트절연막 상부에 상기 제 1 물질의 굴절률보다 작은 굴절률을 갖는 제 2 물질로 형성되는 전반사층과; 상기 전반사층 상부에 산화물 반도체 물질로 형성되는 액티브층과; 상기 액티브층 상부에 서로 이격하여 형성되는 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 산화물 반도체 박막트랜지스터를 제공한다.

대표청구항

기판과;상기 기판 상부에 형성되는 게이트전극과;상기 게이트전극 상부에 제 1 물질로 형성되는 게이트절연막과;상기 게이트절연막 상부에 상기 제 1 물질의 굴절률보다 작은 굴절률을 갖는 제 2 물질로 형성되는 전반사층과;상기 전반사층 상부에 산화물 반도체 물질로 형성되는 액티브층과;상기 액티브층 상부에 서로 이격하여 형성되는 소스전극 및 드레인전극을 포함하며,상기 전반사층 및 액티브층 각각의 폭은 상기 게이트전극의 폭보다 작은 산화물 반도체 박막트랜지스터.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 | 정재경, 신현수, 권세열, 진동언, 모연곤
  2. [한국] 자기 정합을 이용한 박막트랜지스터 | 오의열
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