초록 ▼

본 발명의 반도체형 변형 측정 장치는, 피검 구조물(1)에 결합되어 상기 피검 구조물(1)의 변형을 측정하는 변형 측정 장치에 있어서, 상기 피검 구조물(1)의 일 지점에서 상기 피검 구조물(1)에 고정되는 제 1 고정체(21); 상기 피검 구조물(1)의 일 지점과는 거리를 둔 다른 지점에서 상기 피검 구조물(1) 고정되는 제 2 고정체(22); 양 단이 상기 제 1 고정체(21) 및 상기제 2 고정체(22)와 각각 결합하고 상기 제 1 고정체(21) 및 상기 제 2 고정체(22)의 사이를 연장하는 캔틸레버(10); 상기 캔틸레버(

본 발명의 반도체형 변형 측정 장치는, 피검 구조물(1)에 결합되어 상기 피검 구조물(1)의 변형을 측정하는 변형 측정 장치에 있어서, 상기 피검 구조물(1)의 일 지점에서 상기 피검 구조물(1)에 고정되는 제 1 고정체(21); 상기 피검 구조물(1)의 일 지점과는 거리를 둔 다른 지점에서 상기 피검 구조물(1) 고정되는 제 2 고정체(22); 양 단이 상기 제 1 고정체(21) 및 상기제 2 고정체(22)와 각각 결합하고 상기 제 1 고정체(21) 및 상기 제 2 고정체(22)의 사이를 연장하는 캔틸레버(10); 상기 캔틸레버(10)의 표면에 접착되어 상기 캔틸레버(10)가 변형되는 경우 함께 변형되는 반도체형 스트레인 게이지(30);를 포함하여 구성된다.본 발명에 따른 반도체형 변형 측정 장치는, 종래 기술에 따른 플러킹(plucking) 및 센싱을 위한 코일을 사용할 필요가 없으므로 보다 간단하고 저비용으로 변형 측정 장치를 구현할 수 있으며, 전력 소모가 작은 변형 측정 장치를 구현할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

피검 구조물(1)에 결합되어 상기 피검 구조물(1)의 변형을 측정하는 변형 측정 장치에 있어서,상기 피검 구조물(1)의 일 지점에서 상기 피검 구조물(1)에 고정되는 제 1 고정체(21);상기 피검 구조물(1)의 일 지점과는 거리를 둔 다른 지점에서 상기 피검 구조물(1)에 고정되는 제 2 고정체(22);양 단이 상기 제 1 고정체(21) 및 상기제 2 고정체(22)와 각각 결합하고 상기 제 1 고정체(21) 및 상기 제 2 고정체(22)의 사이를 연장하는 캔틸레버(10);상기 캔틸레버(10)의 표면에 접착되어 상기 캔틸레버(10)

피검 구조물(1)에 결합되어 상기 피검 구조물(1)의 변형을 측정하는 변형 측정 장치에 있어서,상기 피검 구조물(1)의 일 지점에서 상기 피검 구조물(1)에 고정되는 제 1 고정체(21);상기 피검 구조물(1)의 일 지점과는 거리를 둔 다른 지점에서 상기 피검 구조물(1)에 고정되는 제 2 고정체(22);양 단이 상기 제 1 고정체(21) 및 상기제 2 고정체(22)와 각각 결합하고 상기 제 1 고정체(21) 및 상기 제 2 고정체(22)의 사이를 연장하는 캔틸레버(10);상기 캔틸레버(10)의 표면에 접착되어 상기 캔틸레버(10)가 변형되는 경우 함께 변형되는 반도체형 스트레인 게이지(30);적어도 상기 반도체형 스트레인 게이지(30)를 구동하는 기능과 상기 반도체형 스트레인 게이지(30)의 센싱 신호를 증폭하는 기능을 포함하는 주변회로(100)가 탑재되는 회로기판(40);을 포함하며,상기 회로 기판(40)을 연성 회로 기판으로 하거나, 완충 부재(61)를 사용하여 상기 회로 기판(40)을 상기 캔틸레버(10)에 부착함으로써, 상기 회로 기판(40)이 상기 캔틸레버(10)의 변형을 방해하지 않는 것을 특징으로 하는 반도체형 변형 측정 장치.