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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2011-0127341 (2011-11-30) | |
공개번호 | 10-2012-0059440 (2012-06-08) | |
등록번호 | 10-1349888-0000 (2014-01-03) | |
우선권정보 | 미국(US) 13/299,448 (2011-11-18);미국(US) 61/418,055 (2010-11-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110127341 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-11-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 금속 함유 막용 기상 증착 전구체로서 사용하기에 적합한 유기금속 화합물에 관한 것이다.또한, 특정 유기금속 전구체를 사용하여 금속 함유 막을 증착시키는 방법에 관한 것이다.이러한 금속 함유 막은 전자 장치의 제조에 특히 유용하다.
하기 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는, 금속 함유 전구체:비스(2,2,5,5-테트라메틸헥스-3-엔-3-올레이토)헥사(에톡시)디-티타늄;비스(2,2,5,5-테트라메틸헥스-3-엔-3-올레이토)(비스(이소-프로폭시)티타늄;트리스(2,2,5,5-테트라메틸헥스-3-엔-3-올레이토)(디메틸아미도)티타늄; 또는비스(2,2,7,7-테트라메틸옥타-3,5-디엔-3,6-디올레이토)비스(디메틸아미노)티타늄.
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