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연합인증

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금속 함유 막을 증착시키기 위한 금속 에놀레이트 전구체 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C07F-007/28
  • C07F-007/00
  • C23C-016/18
출원번호 10-2011-0127341 (2011-11-30)
공개번호 10-2012-0059440 (2012-06-08)
등록번호 10-1349888-0000 (2014-01-03)
우선권정보 미국(US) 13/299,448 (2011-11-18);미국(US) 61/418,055 (2010-11-30)
DOI http://doi.org/10.8080/1020110127341
발명자 / 주소
  • 노만, 존 안토니 토마스 / 미국 ***** 캘리포니아 엔시니타스 웨스트 블러프 드라이브 ***
  • 레이, 신지안 / 미국 ***** 캘리포니아 비스타 체리우드 ****
출원인 / 주소
  • 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드 / 미합중국 펜실베니아주 *****-**** 알렌타운시 해밀턴 불라바아드 ****
대리인 / 주소
  • 특허법인 남앤드남
심사청구여부 있음 (2011-11-30)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 금속 함유 막용 기상 증착 전구체로서 사용하기에 적합한 유기금속 화합물에 관한 것이다.또한, 특정 유기금속 전구체를 사용하여 금속 함유 막을 증착시키는 방법에 관한 것이다.이러한 금속 함유 막은 전자 장치의 제조에 특히 유용하다.

대표청구항

하기 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는, 금속 함유 전구체:비스(2,2,5,5-테트라메틸헥스-3-엔-3-올레이토)헥사(에톡시)디-티타늄;비스(2,2,5,5-테트라메틸헥스-3-엔-3-올레이토)(비스(이소-프로폭시)티타늄;트리스(2,2,5,5-테트라메틸헥스-3-엔-3-올레이토)(디메틸아미도)티타늄; 또는비스(2,2,7,7-테트라메틸옥타-3,5-디엔-3,6-디올레이토)비스(디메틸아미노)티타늄.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 이산화티타늄의 원자층 증착법을 위한 오존 반응성 리간드를 가진 사이클로펜타다이에닐 티타늄 알콕사이드 | 카메론 토마스 엠, 헌크스 윌리암
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