초록 ▼

원자층 증착공정을 이용하여 대면적 기판에 균일하게 박막을 형성하기 위한 직립방식 증착장치가 개시된다.원자층 증착장치용 가스분사 모듈은, 수직으로 세워진 기판에 증착가스를 제공할 수 있도록 외관을 형성하는 하우징, 상기 하우징에서 상기 기판을 향한 면에 구비되고 복수의 홀이 형성된 분사 플레이트, 상기 분사 플레이트 전방에 구비되고 다수의 홀이 형성된 샤워헤드 플레이트, 원기둥 형태를 갖고 외주면 둘레를 따라 서로 다른 복수의 증착가스를 각각 분사하는 복수의 분사부가 구비되고, 상기 하우징 내부에 수직으로 수용되며, 그 축을 중심으로

원자층 증착공정을 이용하여 대면적 기판에 균일하게 박막을 형성하기 위한 직립방식 증착장치가 개시된다.원자층 증착장치용 가스분사 모듈은, 수직으로 세워진 기판에 증착가스를 제공할 수 있도록 외관을 형성하는 하우징, 상기 하우징에서 상기 기판을 향한 면에 구비되고 복수의 홀이 형성된 분사 플레이트, 상기 분사 플레이트 전방에 구비되고 다수의 홀이 형성된 샤워헤드 플레이트, 원기둥 형태를 갖고 외주면 둘레를 따라 서로 다른 복수의 증착가스를 각각 분사하는 복수의 분사부가 구비되고, 상기 하우징 내부에 수직으로 수용되며, 그 축을 중심으로 자전 가능하게 구비된 복수의 스핀노즐 유닛 및 상기 스핀노즐 유닛에 연결되어 상기 스핀노즐 유닛에서 증착가스를 외부로 배출시키는 배기부를 포함하여 구성된다.

대표청구항 ▼

수직으로 세워진 기판에 증착가스를 제공할 수 있도록 외관을 형성하는 하우징;상기 하우징에서 상기 기판을 향한 면에 구비되고 복수의 홀이 형성된 분사 플레이트;상기 분사 플레이트 전방에 구비되고 다수의 홀이 형성된 샤워헤드 플레이트;원기둥 형태를 갖고 외주면 둘레를 따라 서로 다른 복수의 증착가스를 각각 분사하는 복수의 분사부가 구비되고, 상기 하우징 내부에 수직으로 수용되며, 그 축을 중심으로 자전 가능하게 구비된 복수의 스핀노즐 유닛; 및상기 스핀노즐 유닛에 연결되어 상기 스핀노즐 유닛에서 증착가스를 외부로 배출시키는 배기부;를

수직으로 세워진 기판에 증착가스를 제공할 수 있도록 외관을 형성하는 하우징;상기 하우징에서 상기 기판을 향한 면에 구비되고 복수의 홀이 형성된 분사 플레이트;상기 분사 플레이트 전방에 구비되고 다수의 홀이 형성된 샤워헤드 플레이트;원기둥 형태를 갖고 외주면 둘레를 따라 서로 다른 복수의 증착가스를 각각 분사하는 복수의 분사부가 구비되고, 상기 하우징 내부에 수직으로 수용되며, 그 축을 중심으로 자전 가능하게 구비된 복수의 스핀노즐 유닛; 및상기 스핀노즐 유닛에 연결되어 상기 스핀노즐 유닛에서 증착가스를 외부로 배출시키는 배기부;를 포함하는 직립방식 증착장치용 가스분사 모듈.