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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0004390 (2012-01-13) |
공개번호 | 10-2012-0089570 (2012-08-13) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120004390 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) |
법적상태 | 거절 |
<과제>본 발명은 산화세륨이 표면에 부착된 피세정물에 대해, 당해 산화세륨을 세륨 이온으로 용해시켜 세정 제거할 수 있는 세정액 및 이를 이용한 세정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.<해결 수단>피세정물 표면에 잔존하는 산화세륨을 제거하는 세정액에 있어서, (1) 불화수소와, (2) 염화암모늄, 질산암모늄, 황산암모늄, 염화테트라메틸암모늄, 질산테트라메틸암모늄, 및 황산테트라메틸암모늄으로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 1종의 암모늄염을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액.
피세정물 표면에 잔존하는 산화세륨을 제거하는 세정액에 있어서,(1) 불화수소와,(2) 염화암모늄, 질산암모늄, 황산암모늄, 염화테트라메틸암모늄, 질산테트라메틸암모늄, 및 황산테트라메틸암모늄으로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 1종의 암모늄염을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액.
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