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[한국특허] 세정액 및 세정 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • C11D-003/04
  • C11D-003/02
출원번호 10-2012-0004390 (2012-01-13)
공개번호 10-2012-0089570 (2012-08-13)
DOI http://doi.org/10.8080/1020120004390
발명자 / 주소
  • 미야시타, 마사유키 / 일본, 오사카 ***-****, 사카이-시, 사카이-쿠, 카이산-쵸, *-***, 스텔라 케미파 코포레이션, 씨/오 산포 팩토리
  • 쿠지메, 타카노부 / 일본, 오사카 ***-****, 사카이-시, 사카이-쿠, 카이산-쵸, *-***, 스텔라 케미파 코포레이션, 씨/오 산포 팩토리
  • 야마모토, 마사시 / 일본, 오사카 ***-****, 사카이-시, 사카이-쿠, 카이산-쵸, *-***, 스텔라 케미파 코포레이션, 씨/오 산포 팩토리
  • 다테, 카즈야 / 일본, 오사카 ***-****, 사카이-시, 사카이-쿠, 카이산-쵸, *-***, 스텔라 케미파 코포레이션, 씨/오 산포 팩토리
출원인 / 주소
  • 스텔라 케미파 가부시키가이샤 / 일본 오사카켄 오사카시 추오쿠 아와지마치 *-*-*
대리인 / 주소
  • 허용록
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

<과제>본 발명은 산화세륨이 표면에 부착된 피세정물에 대해, 당해 산화세륨을 세륨 이온으로 용해시켜 세정 제거할 수 있는 세정액 및 이를 이용한 세정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.<해결 수단>피세정물 표면에 잔존하는 산화세륨을 제거하는 세정액에 있어서, (1) 불화수소와, (2) 염화암모늄, 질산암모늄, 황산암모늄, 염화테트라메틸암모늄, 질산테트라메틸암모늄, 및 황산테트라메틸암모늄으로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 1종의 암모늄염을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액.

대표청구항

피세정물 표면에 잔존하는 산화세륨을 제거하는 세정액에 있어서,(1) 불화수소와,(2) 염화암모늄, 질산암모늄, 황산암모늄, 염화테트라메틸암모늄, 질산테트라메틸암모늄, 및 황산테트라메틸암모늄으로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 1종의 암모늄염을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정액.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [일본] METHOD AND APPARATUS OF CLEANING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE | SOTOAKA RYUJI, YAMADA KENJI, TANAKA KEIICHI, AZUMA TOMOYUKI
    상세보기
  2. [일본] CLEANING LIQUID AND CLEANING METHOD | MIYASHITA MASAYUKI, KUJIME TAKANOBU, FUTAI KEIICHI, YAMAMOTO MASASHI
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