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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0018874 (2012-02-24) | |
등록번호 | 10-1268609-0000 (2013-05-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120018874 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-02-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 진공증착법을 이용한 비스무스 테루라이드(Bi2Te3)계 열전박막의 제조방법을 제공하기 위한 것으로서, 더욱 상세하게는 비스무스 테루라이드계 합금조성 증착원과 테루륨 증착원을 동시증착하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 열전박막을 제공한다. 본 발명에 의해 열전박막의 조성을 용이하게 조절함으로써 우수한 열전특성을 갖는 열전박막을 얻을 수 있는 공정상의 이점이 있으며, 또한 이들 열전박막으로 구성한 열전박막소자의 성능을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
진공증착법으로 비스무스 테루라이드계 열전박막을 제조하는 방법에 있어서,비스무스 테루라이드계 합금조성 증착원과 테루륨 증착원을 각각 구성하고 동시증착에 의해 열전박막을 형성하는 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법.
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