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[한국특허] 합금조성 증착원과 테루륨 증착원의 동시증착에 의한 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법 및 이에 의해 제조된 열전박막 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-035/34
  • H01L-035/18
출원번호 10-2012-0018874 (2012-02-24)
등록번호 10-1268609-0000 (2013-05-22)
DOI http://doi.org/10.8080/1020120018874
발명자 / 주소
  • 오태성 / 서울특별시 송파구 잠실*동 리센츠아파트 ***-****
  • 배재만 / 경상북도 경산시 삼북동 **-*
  • 김민영 / 서울특별시 영등포구 양평동*가 ***번지 파크빌 ***호
  • 최정열 / 서울특별시 노원구 중계*동 양지대림아파트 ***동 ***호
  • 유병규 / 서울특별시 중랑구 면목*동 현대아파트 ***동 ****호
  • 김재환 / 경기도 광명시 광명*동 ***-** 현대빌리지 A동 ***호
출원인 / 주소
  • 홍익대학교 산학협력단 / 서울특별시 마포구 와우산로 ** (상수동)
대리인 / 주소
  • 정상규
심사청구여부 있음 (2012-02-24)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 진공증착법을 이용한 비스무스 테루라이드(Bi2Te3)계 열전박막의 제조방법을 제공하기 위한 것으로서, 더욱 상세하게는 비스무스 테루라이드계 합금조성 증착원과 테루륨 증착원을 동시증착하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 열전박막을 제공한다. 본 발명에 의해 열전박막의 조성을 용이하게 조절함으로써 우수한 열전특성을 갖는 열전박막을 얻을 수 있는 공정상의 이점이 있으며, 또한 이들 열전박막으로 구성한 열전박막소자의 성능을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

대표청구항

진공증착법으로 비스무스 테루라이드계 열전박막을 제조하는 방법에 있어서,비스무스 테루라이드계 합금조성 증착원과 테루륨 증착원을 각각 구성하고 동시증착에 의해 열전박막을 형성하는 비스무스 테루라이드계 열전박막의 제조방법.

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