초록 ▼

본 발명은 화학적 기계적 연마를 위한 연마 조성물, 이의 제조 방법 및 상기 연마 조성물을 이용한 화학적 기계적 연마 방법에 관한 것이다.본 발명의 일 실시예에 따른 연마 조성물은, 2 성분 이상의 서로 다른 종류의 금속 원소들을 포함하는 금속 화합물 박막의 평탄화를 위한 수성계 연마 조성물이며, 나노 다이아몬드 입자들; 및 상기 나노 다이아몬드 입자들을 분산 안정화하기 위한 Poly(sodium 4-styrenesulfonate)를 포함한다.연마 조성물 내에서 나노 다이아몬드 입자는 비친수성 표면을 가지고, PSS는 이를 효과적으

본 발명은 화학적 기계적 연마를 위한 연마 조성물, 이의 제조 방법 및 상기 연마 조성물을 이용한 화학적 기계적 연마 방법에 관한 것이다.본 발명의 일 실시예에 따른 연마 조성물은, 2 성분 이상의 서로 다른 종류의 금속 원소들을 포함하는 금속 화합물 박막의 평탄화를 위한 수성계 연마 조성물이며, 나노 다이아몬드 입자들; 및 상기 나노 다이아몬드 입자들을 분산 안정화하기 위한 Poly(sodium 4-styrenesulfonate)를 포함한다.연마 조성물 내에서 나노 다이아몬드 입자는 비친수성 표면을 가지고, PSS는 이를 효과적으로 안정화시켜, 나노 다이아몬드 입자들의 응집을 억제하여 우수한 분산성을 유지하면서 나노 스케일의 고경도 연마재인 나노 다이아몬드 입자에 의해 금속 화합물 박막에 대해 우수한 연마 특성을 얻을 수 있다.

대표청구항

2 성분 이상의 서로 다른 종류의 금속 원소들을 포함하는 금속 화합물 박막의 평탄화를 위한 수성계 연마 조성물로서,나노 다이아몬드 입자들; 및상기 나노 다이아몬드 입자들을 분산 안정화하기 위한 Poly(sodium 4-styrenesulfonate)를 포함하는 연마 조성물.

2 성분 이상의 서로 다른 종류의 금속 원소들을 포함하는 금속 화합물 박막의 평탄화를 위한 수성계 연마 조성물로서,나노 다이아몬드 입자들; 및상기 나노 다이아몬드 입자들을 분산 안정화하기 위한 Poly(sodium 4-styrenesulfonate)를 포함하는 연마 조성물.