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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2012-0088023 (2012-08-10) | |
| 등록번호 | 10-1318826-0000 (2013-10-10) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020120088023 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2012-08-10) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
TDI 카메라를 사용하는 엑스-레이 검사장치에서 피검사 대상물에 대한 TDI 카메라의 스캐닝 배향을 조정할 수 있는 배향 조정부를 구비하는 엑스-레이 검사장치가 개시된다. 엑스-레이 검사장치는, 피검사 대상물을 지지하고 이송시키는 이송유닛; 피검사 대상물에 엑스-레이를 조사하는 엑스-레이 소스; 엑스-레이가 피검사 대상물을 투과할 때 투영되는 영상을 검출하는 TDI 카메라를 구비하는 엑스-레이 디텍터; 및 피검사 대상물에 대한 TDI 카메라의 스캐닝 배향을 조정하도록 상기 TDI 카메라를 상기 TDI 카메라의 광축에 관해 회전시키는
피검사 대상물을 지지하고 이송시키는 이송유닛; 상기 피검사 대상물에 엑스-레이를 조사하는 엑스-레이 소스; 상기 엑스-레이가 상기 피검사 대상물을 투과할 때 투영되는 영상을 검출하는 TDI 카메라를 구비하는 엑스-레이 디텍터; 및상기 피검사 대상물에 대한 상기 TDI 카메라의 스캐닝 배향을 조정하도록 상기 TDI 카메라를 상기 TDI 카메라의 광축에 관해 회전시키는 배향 조정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-레이 검사장치.
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