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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0095120 (2012-08-29) | |
공개번호 | 10-2014-0030451 (2014-03-12) | |
등록번호 | 10-1896710-0000 (2018-09-03) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120095120 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-01-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 수용성 수지를 포함하는 수지, 부식방지제 및 물 또는 물과 유기용매의 혼합물인 용매를 포함하는 레이저 다이싱용 웨이퍼 보호막 조성물을 제공한다.
수용성 수지를 포함하는 수지, 부식방지제 및 물 또는 물과 유기용매의 혼합물인 용매를 포함하는 레이저 다이싱용 웨이퍼 보호막 조성물에 있어서,상기 부식방지제는 유기산, 아민, 알코올, 무기산염, 및 유기산염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 것이고,상기 아민은 하이드라진, 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민, 디메틸에탄올아민, N-메틸디에탄올아민, 모노메틸에탄올아민, 디글리콜아민, 모르폴린, N-아미노에틸피페라진, 디메틸아미노프로필아민, N,N-디메틸시클로헥실아민, 에틸렌디아민, 페닐렌디아민, 디에틸렌트리아민,
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