초록 ▼

본 발명에 의하면, 마이크로웨이브로 처리하는 공정을 포함하는 SF6가스 분해 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 2,400 내지 2,450 MHz의 주파수와, 1.0 내지 1.2kW의 최대출력 처리하는 것을 특징으로 한다. 한편 상기 분해 방법에서 Al2O3를 촉매로 하고 SiC를 발열체로 하는 것을 특징으로 한다. 따라서 마이크로웨이브의 발열체로 SiC를 촉매로 Al2O3사용하여 SF6를 600 내지 900℃에서분해할 수 있어서 종래에 비해 낮은 온도에서 분해가 가능하므로 에너지를 효율적으로 이용할 수 있으며, 더욱이 종래의 플

본 발명에 의하면, 마이크로웨이브로 처리하는 공정을 포함하는 SF6가스 분해 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 2,400 내지 2,450 MHz의 주파수와, 1.0 내지 1.2kW의 최대출력 처리하는 것을 특징으로 한다. 한편 상기 분해 방법에서 Al2O3를 촉매로 하고 SiC를 발열체로 하는 것을 특징으로 한다. 따라서 마이크로웨이브의 발열체로 SiC를 촉매로 Al2O3사용하여 SF6를 600 내지 900℃에서분해할 수 있어서 종래에 비해 낮은 온도에서 분해가 가능하므로 에너지를 효율적으로 이용할 수 있으며, 더욱이 종래의 플라즈마를 사용하는 경우 다른 종류의 과불화합물로 전환될 수 있어 분해 효율이 낮을 뿐만 아니라 CoF2와 같은 유독성 물질과 펌프를 부식시키는 HF가 생성되는 반면에 마이크로웨이브를 이용한 본 발명은 상기와 같은 유독물질이 생성되지 않는 장점을 갖는다.

대표청구항

마이크로웨이브로 처리하는 공정을 포함하는 SF6가스 분해 방법.

마이크로웨이브로 처리하는 공정을 포함하는 SF6가스 분해 방법.