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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0122307 (2012-10-31) | |
공개번호 | 10-2014-0055415 (2014-05-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120122307 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-10-31) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
전자비임을 타겟과 충돌시켜 엑스레이를 발생시키는 엑스레이 발생장치에 있어서, 타겟 방향으로 전자비임을 통과시키기 위한 비임 통과부가 마련된 컬럼, 전자비임의 집속 및 제어를 위해 비임 통과부를 둘러싸는 마그네틱 렌즈 및 비임 통과부가 관통된 상태로 컬럼 내부에 삽입되며, 마그네틱 렌즈가 내장되는 냉각챔버를 갖는 하우징부를 포함하며, 냉각챔버에는 마그네틱 렌즈와 직접 접촉하는 냉각유체가 순환하는 것을 특징으로 한다.
전자비임을 타겟과 충돌시켜 엑스레이를 발생시키는 엑스레이 발생장치에 있어서,상기 타겟 방향으로 상기 전자비임을 통과시키기 위한 비임 통과부가 마련된 컬럼;상기 전자비임의 집속 및 제어를 위해 상기 비임 통과부를 둘러싸는 마그네틱 렌즈; 및상기 비임 통과부가 관통된 상태로 상기 컬럼 내부에 삽입되며, 상기 마그네틱 렌즈가 내장되는 냉각챔버를 갖는 하우징부;를 포함하며,상기 냉각챔버에는 상기 마그네틱 렌즈와 직접 접촉하는 냉각유체가 순환하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 발생장치.
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