[특허]그래핀 합성장치 및 그래핀 합성방법

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[한국특허] 그래핀 합성장치 및 그래핀 합성방법
Apparatus and method for manufacturing graphene 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C01B-031/02 B01J-019/24
출원번호	10-2012-0131108 (2012-11-19)
공개번호	10-2014-0064132 (2014-05-28)
등록번호	10-2025365-0000 (2019-09-19)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020120131108
발명자 / 주소	윤종혁 / 경남 창원시 성산구 창원대로 ****, 삼성테크윈 (성주동)
출원인 / 주소	한화에어로스페이스 주식회사 / 경상남도 창원시 성산구 창원대로 **** (성주동)
대리인 / 주소	리앤목특허법인
심사청구여부	있음 (2017-09-19)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 그래핀 합성장치를 개시한다. 본 발명은, 연속적인 촉매금속박막 상에 열을 가하는 히터부와, 상기 촉매금속박막과 상기 히터부 사이에 배치되어 상기 히터부의 열을 상기 촉매금속박막에 균일하게 제공하는 서셉터부와, 상기 촉매금속박막의 측면으로 원료물질을 제공하는 원료물질공급부를 포함한다.

대표청구항

지면에 대해서 수직으로 이동하는 연속적인 촉매금속박막 상에 열을 가하는 히터부;상기 촉매금속박막의 일면과 평행하게 배열되며, 상기 촉매금속박막과 상기 히터부 사이에 배치되어 상기 히터부의 열을 상기 촉매금속박막에 균일하게 제공하는 서셉터부; 및상기 촉매금속박막의 측면으로부터 상기 촉매금속박막의 이동방향에 수직한 방향으로 상기 촉매금속박막으로 원료물질을 제공하는 원료물질공급부;를 포함하는 그래핀 합성장치.

이 특허에 인용된 특허 (3)

[한국] 기판 처리 장치 | 남원식, 연강흠, 송대석
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[미국] CVD APPARATUS | Yasunaga, Shinya, Ikeda, Masakiyo, KIKUCHI, Hiroshi, Sakurai, Noriyasu, Nakasaki, Ryusuke, Liu, Jin, Yamano, Satoshi
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[미국] GRAPHENE SYNTHESIS CHAMBER AND METHOD OF SYNTHESIZING GRAPHENE BY USING THE SAME | WON, Dong-Kwan, NAM, Won-Sik
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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