초록 ▼

벨로우즈의 외주면을 감싸도록 앵글 밸브의 밸브 바디 내부에 베이스 플레이트와 히팅 코일로 이루어진 히팅 부재를 제공함으로써, 앵글 밸브의 밸브 바디 내부 및 배기관에 파우더가 축적되지 않도록 직접 가열 방식으로 개선시킨 반도체 제조장치의 진공압 측정용 앵글밸브가 개시된다. 프로세스 챔버와 진공 펌프 사이에 분리 가능하게 제공되는 반도체 제조장치의 진공압 측정용 앵글밸브는 프로세스 챔버와 연결되는 입구가 길이 방향으로 형성되고, 진공 펌프와 연결되는 출구가 입구에 대하여 수직으로 형성되는 밸브 바디를 포함한다. 에어 실린더는 일단으로

벨로우즈의 외주면을 감싸도록 앵글 밸브의 밸브 바디 내부에 베이스 플레이트와 히팅 코일로 이루어진 히팅 부재를 제공함으로써, 앵글 밸브의 밸브 바디 내부 및 배기관에 파우더가 축적되지 않도록 직접 가열 방식으로 개선시킨 반도체 제조장치의 진공압 측정용 앵글밸브가 개시된다. 프로세스 챔버와 진공 펌프 사이에 분리 가능하게 제공되는 반도체 제조장치의 진공압 측정용 앵글밸브는 프로세스 챔버와 연결되는 입구가 길이 방향으로 형성되고, 진공 펌프와 연결되는 출구가 입구에 대하여 수직으로 형성되는 밸브 바디를 포함한다. 에어 실린더는 일단으로 밀봉 플레이트를 갖는 샤프트가 길이 방향을 따라 왕복 가능하게 내장된다. 어뎁터는 밸브 바디와 에어 실린더 사이를 동축상으로 분리 가능하게 연결한다. 벨로우즈는 샤프트의 일단에 분리 가능하게 결합되며 상기 밸브 바디의 내부에 위치된다. 히팅부재는 밸브 바디의 바깥 표면에 분리 가능하게 결합되는 히팅 자켓을 포함한다. 히팅부재는 벨로우즈의 외주면을 감싸도록 밸브 바디의 내부에 제공된다.

대표청구항 ▼

프로세스 챔버(102)와 진공 펌프(104) 사이에 분리 가능하게 제공되는 반도체 제조장치의 진공압 측정용 앵글밸브(100)로서, 상기 프로세스 챔버(102)와 연결되는 입구(112)가 길이 방향으로 형성되고, 상기 진공 펌프(104)와 연결되는 출구(114)가 상기 입구(112)에 대하여 수직으로 형성되는 밸브 바디(110); 일단으로 밀봉 플레이트(124)를 갖는 샤프트(122)가 길이 방향을 따라 왕복 가능하게 내장되는 에어 실린더(120); 상기 밸브 바디(110)와 에어 실린더(120) 사이를 동축상으로 분리 가능하게 연결

프로세스 챔버(102)와 진공 펌프(104) 사이에 분리 가능하게 제공되는 반도체 제조장치의 진공압 측정용 앵글밸브(100)로서, 상기 프로세스 챔버(102)와 연결되는 입구(112)가 길이 방향으로 형성되고, 상기 진공 펌프(104)와 연결되는 출구(114)가 상기 입구(112)에 대하여 수직으로 형성되는 밸브 바디(110); 일단으로 밀봉 플레이트(124)를 갖는 샤프트(122)가 길이 방향을 따라 왕복 가능하게 내장되는 에어 실린더(120); 상기 밸브 바디(110)와 에어 실린더(120) 사이를 동축상으로 분리 가능하게 연결하는 어뎁터(130); 상기 샤프트(122)의 일단에 분리 가능하게 결합되며 상기 밸브 바디(110)의 내부에 위치되는 벨로우즈(140); 상기밸브 바디(110)의 바깥 표면에 분리 가능하게 결합되는 히팅 자켓(150); 및 상기 벨로우즈(140)의 외주면을 감싸도록 상기 밸브 바디(110)의 내부에 제공되는 히팅부재를 포함하여 구성되고, 상기 히팅부재(160)는 상기 어뎁터(130)의 한쪽 면에 분리 가능하게 고정되는 베이스 플레이트(162); 및 상기 베이스 플레이트(162)에 일단이 고정되는 히팅 코일(164)을 포함하고, 상기 베이스 플레이트(162)의 한쪽 면에는 상기 히팅 코일(164)의 내경을 지지하여 상기 벨로우즈(140)와의 접촉이 방지되도록 적어도 하나 이상의 지주(166)가 수직으로 세워지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 진공압 측정용 앵글밸브.