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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2012-0153553 (2012-12-26) | |
| 공개번호 | 10-2014-0084464 (2014-07-07) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020120153553 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2012-12-26) | |
| 심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
| 법적상태 | 거절 |
LTCC 기반의 유전영동 소자 제조 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 LTCC 기반의 유전영동 소자 제조 방법은 (a) 소성되지 않은 상태의 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)용 세라믹 기판을 마련하는 단계; (b) 상기 세라믹 기판 상에, 서로 이격된 제1 전극 패턴 및 제2 전극 패턴을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 제1 전극 패턴, 상기 제2 전극 패턴 및 상기 세라믹 기판을 동시 소성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
(a) 소성되지 않은 상태의 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)용 세라믹 기판을 마련하는 단계;(b) 상기 세라믹 기판 상에, 서로 이격된 제1 전극 패턴 및 제2 전극 패턴을 형성하는 단계; 및(c) 상기 제1 전극 패턴, 상기 제2 전극 패턴 및 상기 세라믹 기판을 동시 소성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LTCC 기반의 유전영동 소자 제조 방법.
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