[특허]구리 연마용 CMP 슬러리 조성물　및 이를 이용한 연마 방법

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[한국특허] 구리 연마용 CMP 슬러리 조성물　및 이를 이용한 연마 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	C09K-003/14 H01L-021/304
출원번호	10-2012-0158158 (2012-12-31)
공개번호	10-2014-0087639 (2014-07-09)
등록번호	10-1526005-0000 (2015-05-29)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020120158158
발명자 / 주소	노종일 / 경기 의왕시 고산로 , (고천동, 제일모직) 김원래 / 경기 의왕시 고산로 , (고천동, 제일모직) 김동진 / 경기 의왕시 고산로 , (고천동, 제일모직) 홍창기 / 경기 의왕시 고산로 , (고천동, 제일모직)
출원인 / 주소	제일모직주식회사 / 경상북도 구미시 구미대로 ** (공단동)
대리인 / 주소	특허법인아주양헌
심사청구여부	있음 (2014-01-13)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명의 구리 연마용 CMP 슬러리 조성물은 연마 입자; 산화제; 아미노산; 부식억제제; 및 탈이온수를 포함하는 구리 연마용 CMP 슬러리 조성물이며, 상기 부식억제제는 트리아졸, 벤조트리아졸 또는 이들의 유도체를 포함하며,상기 아미노산은 전체 조성물　중 10 내지 20 중량% 인 것을 특징으로 한다.

대표청구항

연마 입자; 산화제; 아미노산; 부식억제제; 및 탈이온수를 포함하는 구리 연마용 CMP 슬러리 조성물이며,상기 부식억제제는 트리아졸, 벤조트리아졸 또는 이들의 유도체를 포함하며,상기 아미노산은 전체 조성물　중 10 내지 20 중량%이고,상기 아미노산과 상기 부식억제제의 중량비는 130:1 ~ 1800:1 인 것을 특징으로 하는　구리 연마용 CMP 슬러리 조성물.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

[한국] 구리 및 관련된 재료를 위한 개선된 ＣＭＰ 조성물 및 그 이용방법 | 다실로, 마이클., 월츠카, 피터., 보그스, 칼.
상세보기
[한국] 고도로 희석 가능한 폴리싱 농축액 및 슬러리 | 김형준, 웬 리차드, 후 빈, 타나카 미네, 마후리카 디팩
상세보기

이 특허를 인용한 특허 (1)

[한국] 구리 연마용 ＣＭＰ 슬러리 조성물 및 이를 이용한 연마 방법 | 황자영, 박경주, 김진교, 박태원
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특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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