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[한국특허] 세륨계 연마입자와 이를 포함하는 슬러리 및 그 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C09K-003/14
  • H01L-031/0304
출원번호 10-2012-0158207 (2012-12-31)
등록번호 10-1396250-0000 (2014-05-12)
DOI http://doi.org/10.8080/1020120158207
발명자 / 주소
  • 배성호 / 경기 안성시 공도읍 마정강변길 **, ***동 ***호 (임광그대가아파트*단지)
  • 박근우 / 경기 수원시 영통구 월드컵로***번길 **-*, (원천동)
출원인 / 주소
  • 주식회사 케이씨텍 / 경기도 안성시 미양면 제*공단*길 **
대리인 / 주소
  • 특허법인무한
심사청구여부 있음 (2012-12-31)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

본 발명은 산화 세륨 연마제와 이를 포함하는 슬러리 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따라 금속염에 염기성 물질 및 유기용매를 혼합한 후 건조 및 하소 공정을 통해 세륨계 연마입자의 입자 특성을 조절함과 동시에 슬러리 제조 시에 세륨계 연마입자의 입도 분포 및 산포를 줄일 수 있다.또한, 거대 입자나 미세분말을 포함하지 않는 연마입자를 신속하게 얻는 것이 가능하고, 상기 세륨계 연마입자를 이용하여, 적절한 연마 속도를 유지하면서, 스크래치의 발생을 감소시키고, 반도체 표면을 정밀하게 연마 가능한 슬러리를 제공할 수 있다

대표청구항

세륨계 연마입자의 제조방법으로서,금속염, 염기성 물질 및 유기용매를 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계;를 포함하고,상기 세륨계 연마입자는, X선 회절 분석법에 의한 XRD 패턴의 (200)면의 피크 면적에 대한 (111)면의 피크 면적으로 정의되는 피크 면적비가 0.5 내지 4.5인, 세륨계 연마입자의 제조방법.

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 산화세륨 분말 및 그 제조방법 | 노준석, 김장열, 오명환, 김종필, 조승범
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  2. [한국] 유기용매를 이용한 산화세륨 분말의 제조방법 및 상기분말을 포함하는ＣＭＰ슬러리 | 오명환, 조승범, 노준석, 김종필, 김장열
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