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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-7004251 (2012-02-17) | |
공개번호 | 10-2012-0038503 (2012-04-23) | |
등록번호 | 10-1568215-0000 (2015-11-05) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2009-184177 (2009-08-07);일본(JP) JP-P-2010-038318 (2010-02-24) | |
국제출원번호 | PCT/JP2010/060698 (2010-06-17) | |
국제공개번호 | WO 2011/016297 (2011-02-10) | |
번역문제출일자 | 2012-02-17 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020127004251 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-04-21) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명의 증착용 타블렛은 산화인듐 소결체의 파단면에 나타나는 결정립의 입도 분포에 있어서의 최대 피크를 구성하는 입경의 결정립이 차지하는 비율이 20% 이하인 것을 특징으로 하고, 이 증착용 타블렛은 산화인듐 분말과 산화세륨 분말을 혼합하여 1300℃ 이상 1550℃ 이하에서 열처리하여 하소 분말을 얻는 제1 공정과, 얻어진 하소 분말에 미하소의 산화인듐 분말 및/또는 산화세륨 분말을 상기 하소 분말의 비율이 50질량% 이상 80질량% 이하가 되도록 혼합하고 또한 조립하여 조립 분말을 얻는 제2 공정과, 얻어진 조립 분말을 성형하
세륨을 도펀트로서 포함하는 산화인듐 소결체에 의해 구성되고 또한 상대밀도가 50% 이상 80% 이하의 증착용 타블렛의 제조 방법에 있어서,산화인듐 분말을 1300℃ 이상 1550℃ 이하에서 열처리하여 하소 분말을 얻는 제1 공정과,얻어진 하소 분말에 미하소의 산화세륨 분말 또는 미하소의 산화인듐 분말과 산화세륨 분말을 상기 하소 분말의 비율이 50질량% 이상 80질량% 이하가 되도록 혼합하고, 또한, 조립하여 조립 분말을 얻는 제2 공정과,얻어진 조립 분말을 성형하여 성형체로 하고, 이 성형체를 1100℃ 이상 1350℃ 이하에서
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