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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-7016270 (2012-06-22) | |
공개번호 | 10-2012-0098800 (2012-09-05) | |
등록번호 | 10-1384595-0000 (2014-04-07) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2010-130211 (2010-06-07) | |
국제출원번호 | PCT/JP2011/063195 (2011-06-02) | |
국제공개번호 | WO 2011/155548 (2011-12-15) | |
번역문제출일자 | 2012-06-22 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020127016270 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-06-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
피세정물을 초음파 세정한 후의 세정 불균일의 발생을 억제할 수 있는 초음파 세정 장치 및 초음파 세정 방법을 제공한다. 본 발명의 일형태는 세정액(23)이 넣어지는 세정조(21)와, 상기 세정조 내의 세정액에 침지된 피세정물(22)에 초음파 진동을 주는 제 1 및 제 2 초음파 진동자(34a, 34b)와, 상기 제 1 초음파 진동자에 고주파 출력을 인가하는 제 1 초음파 발진기(36)와, 상기 제 2 초음파 진동자에 고주파 출력을 인가하는 제 2 초음파 발진기(37)와, 상기 제 1 초음파 발진기 및 제 2 초음파 발진기 중 적어도
세정액이 넣어지는 세정조와,상기 세정조 내의 세정액에 침지된 피세정물에 초음파 진동을 주는 제 1 초음파 진동자 및 제 2 초음파 진동자와,상기 제 1 초음파 진동자에 고주파 출력을 인가하는 제 1 초음파 발진기와,상기 제 2 초음파 진동자에 고주파 출력을 인가하는 제 2 초음파 발진기와,상기 제 1 초음파 발진기 및 제 2 초음파 발진기 중 적어도 한쪽의 출력을 변동시켜서 제어하는 컨트롤러를 구비하고;상기 출력을 변동시키는 것은 0% 이상의 출력으로부터 100% 이하의 출력으로 연속적으로 증가시키는 출력 변동, 0% 이상의 출력으
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