초록 ▼

선행 기술에서는, 보다 미소한 이물질을 검출하기 위해서는 전압을 높이는 수 밖에 수단이 없어, 방전에 의한 검사 대상을 파괴할 가능성이 있다.또한, 보다 미소한 이물질을 검출하기 위해서 자기 저항체의 이동 속도를 올리면, 자기 임피던스 센서의 응답 속도를 초과해 버려, 검출할 수 없는 과제가 있었다.본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 검사 대상을 끼우도록 배치된 제1 전극 및, 제2 전극과, 상기 제1 전극에 접속된 전원과, 상기 검사 대상의 반송 속도를 제어하는 반송 속도 제어부와, 상기 제2 전극에 접속되고, 상기 제1

선행 기술에서는, 보다 미소한 이물질을 검출하기 위해서는 전압을 높이는 수 밖에 수단이 없어, 방전에 의한 검사 대상을 파괴할 가능성이 있다.또한, 보다 미소한 이물질을 검출하기 위해서 자기 저항체의 이동 속도를 올리면, 자기 임피던스 센서의 응답 속도를 초과해 버려, 검출할 수 없는 과제가 있었다.본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위해서, 검사 대상을 끼우도록 배치된 제1 전극 및, 제2 전극과, 상기 제1 전극에 접속된 전원과, 상기 검사 대상의 반송 속도를 제어하는 반송 속도 제어부와, 상기 제2 전극에 접속되고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극과의 사이에 형성된 정전 용량의 변화에 의해 생긴 전류를 검출하는 전류 검출부와, 상기 전류에 기초해 결함을 검출하는 결함 검출부를 갖는다.또한 본 발명은, 상기 검사 대상의 반송 방향과는 역방향으로 회전하는 상기 제2 전극을 갖는다.또한 본 발명은, 상기 전원에 직류 혹은 교류 전원을 갖는다.

대표청구항

검사 대상의 결함을 검사하는 검사 장치로서,상기 검사 대상을 반송하는 반송부와,상기 검사 대상을 끼우도록 배치된 제1 전극 및, 제2 전극과,상기 제1 전극에 접속된 전원과,상기 검사 대상의 반송 속도를 제어하는 반송 속도 제어부와,상기 제2 전극에 접속되고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극과의 사이에 형성된 정전 용량의 변화에 의해 발생한 전류를 검출하는 전류 검출부와,상기 전류에 기초해 결함을 검출하는 결함 검출부를 갖는 것을 특징으로 하는 검사 장치.

검사 대상의 결함을 검사하는 검사 장치로서,상기 검사 대상을 반송하는 반송부와,상기 검사 대상을 끼우도록 배치된 제1 전극 및, 제2 전극과,상기 제1 전극에 접속된 전원과,상기 검사 대상의 반송 속도를 제어하는 반송 속도 제어부와,상기 제2 전극에 접속되고, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극과의 사이에 형성된 정전 용량의 변화에 의해 발생한 전류를 검출하는 전류 검출부와,상기 전류에 기초해 결함을 검출하는 결함 검출부를 갖는 것을 특징으로 하는 검사 장치.