다카하시 고로
/ 일본국 이와테켄 오슈시 에사시쿠 이와야도 아자 마츠나가네 ** 도쿄 엘렉트론 도호쿠 가부시키가이샤 나이
가사이 타카히토
/ 일본국 이와테켄 오슈시 에사시쿠 이와야도 아자 마츠나가네 ** 도쿄 엘렉트론 도호쿠 가부시키가이샤 나이
사이토 타카노리
/ 일본국 이와테켄 오슈시 에사시쿠 이와야도 아자 마츠나가네 ** 도쿄 엘렉트론 도호쿠 가부시키가이샤 나이
왕 웬링
/ 일본국 이와테켄 오슈시 에사시쿠 이와야도 아자 마츠나가네 ** 도쿄 엘렉트론 도호쿠 가부시키가이샤 나이
요시이 코지
/ 일본국 이와테켄 오슈시 에사시쿠 이와야도 아자 마츠나가네 ** 도쿄 엘렉트론 도호쿠 가부시키가이샤 나이
야마구치 타츠야
/ 일본국 홋카이도 삿포로시 츄오쿠 키타*조 니시*쵸메 니혼세이메이 삿포로 빌딩 **층 도쿄 엘렉트론 소프트웨어 테크놀로지즈 가부시키가이샤 나이
출원인 / 주소
도쿄엘렉트론가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 미나토쿠 아카사카 *쵸메 *반 *고
대리인 / 주소
이철
심사청구여부
있음 (2014-06-27)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
등록
초록▼
(과제) 소망하는 열처리 조건에 따라서, 최적의 온도 특성을 실현 가능한, 열처리 장치를 제공하는 것이다.(해결 수단) 피(被)처리체를 승온하거나 또는 정온(定溫)에서 열처리하는 열처리 장치로서, 상기 피처리체를 수납하는 처리실과, 상기 처리실에 수납된 상기 피처리체를 가열하기 위한 가열부와, 미리 작성된 2개 또는 그 이상의 온도 제어 모델을 기억하는 기억부와, 상기 가열부의 온도를 제어하는 온도 제어부와, 상기 온도 제어부 및 상기 기억부를 제어하는 장치 제어부를 갖고, 상기 장치 제어부는, 소망하는 열처리 조건에 따라서, 상기
(과제) 소망하는 열처리 조건에 따라서, 최적의 온도 특성을 실현 가능한, 열처리 장치를 제공하는 것이다.(해결 수단) 피(被)처리체를 승온하거나 또는 정온(定溫)에서 열처리하는 열처리 장치로서, 상기 피처리체를 수납하는 처리실과, 상기 처리실에 수납된 상기 피처리체를 가열하기 위한 가열부와, 미리 작성된 2개 또는 그 이상의 온도 제어 모델을 기억하는 기억부와, 상기 가열부의 온도를 제어하는 온도 제어부와, 상기 온도 제어부 및 상기 기억부를 제어하는 장치 제어부를 갖고, 상기 장치 제어부는, 소망하는 열처리 조건에 따라서, 상기 2개 또는 그 이상의 온도 제어 모델로부터 온도 제어 모델을 선정하고, 상기 온도 제어부는, 상기의 선정된 온도 제어 모델을 상기 기억부로부터 판독하여, 상기 가열부를 제어하는 열처리 장치.
대표청구항▼
피(被)처리체를 승온, 강온 또는 정온(定溫)에서 열처리하는 열처리 장치로서,상기 피처리체를 수납하는 처리실과,상기 처리실에 수납된 상기 피처리체를 가열하기 위한 가열부와,미리 작성된 복수의 온도 제어 모델을 기억하는 기억부와,상기 가열부의 온도를 제어하는 온도 제어부와,상기 온도 제어부 및 상기 기억부를 제어하는 장치 제어부를 갖고,상기 장치 제어부는, 상기 열처리시의 조건에 따라서, 상기 복수의 온도 제어 모델로부터 상기 열처리의 도중에 선택적으로 전환하여 적용될 2개 또는 그 이상의 온도 제어 모델을 선정하고,상기 온도 제어부
피(被)처리체를 승온, 강온 또는 정온(定溫)에서 열처리하는 열처리 장치로서,상기 피처리체를 수납하는 처리실과,상기 처리실에 수납된 상기 피처리체를 가열하기 위한 가열부와,미리 작성된 복수의 온도 제어 모델을 기억하는 기억부와,상기 가열부의 온도를 제어하는 온도 제어부와,상기 온도 제어부 및 상기 기억부를 제어하는 장치 제어부를 갖고,상기 장치 제어부는, 상기 열처리시의 조건에 따라서, 상기 복수의 온도 제어 모델로부터 상기 열처리의 도중에 선택적으로 전환하여 적용될 2개 또는 그 이상의 온도 제어 모델을 선정하고,상기 온도 제어부는, 상기 선정된 온도 제어 모델을 상기 기억부로부터 판독하여, 상기 가열부를 제어하고,상기 장치 제어부에서, 상기 피처리체를 설정 온도까지 승온 또는 강온하는 상기 열처리의 경우에, 그 열처리 도중에 선택적으로 전환하여 적용되는, 상기 2개 또는 그 이상의 온도 제어 모델은, 승온 또는 강온시에 상기 설정 온도를 추종하도록 하는 온도 제어 모델로부터, 승온 또는 강온된 온도가 상기 설정 온도 부근에서 진동하지 않도록 하는 온도 제어 모델로 전환하도록 선정되는 온도 제어 모델인 열처리 장치.
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