초록 ▼

본 발명은 3차원 형상 측정장치에 관한 것으로, 샘플(08)에 대한 광 간섭 데이터를 취득하는 WSI(White Scanning Interferometer), 샘플(08)에 대한 무간섭 광 데이터를 취득하는 EDF(Extended Depth of Focus)를 다수의 광분할기(02,04,09)와 선형편광기(01,05,07,10,14)로 결합하여 상호 영향없이 샘플(08) 표면의 기울기가 광학계의 NA(Numerical Aperture) 보다 클 경우, 표면의 거칠기가 너무 커 반사가 잘 이루어지지 않는 경우, 표면이 매끄럽지만 재질

본 발명은 3차원 형상 측정장치에 관한 것으로, 샘플(08)에 대한 광 간섭 데이터를 취득하는 WSI(White Scanning Interferometer), 샘플(08)에 대한 무간섭 광 데이터를 취득하는 EDF(Extended Depth of Focus)를 다수의 광분할기(02,04,09)와 선형편광기(01,05,07,10,14)로 결합하여 상호 영향없이 샘플(08) 표면의 기울기가 광학계의 NA(Numerical Aperture) 보다 클 경우, 표면의 거칠기가 너무 커 반사가 잘 이루어지지 않는 경우, 표면이 매끄럽지만 재질의 특성상 반사가 잘 이루어지지 않는 경우에도 정확한 형상을 측정할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치를 제공한다.본 발명에 따르면, 대면적 측정이 가능하며 공 초점 보다는 빠른 검사 시간을 만족하면서도 모아레나 레이저 기반 검사 솔루션보다는 높은 공간 분해능을 가져 샘플 표면의 기울기가 광학계의 NA 보다 클 경우, 표면의 거칠기가 너무 커 반사가 잘 이루어지지 않는 경우, 표면이 매끄럽지만 재질의 특성상 반사가 잘 이루어지지 않는 경우에도 정확한 형상을 측정할 수 있는 장점이 있다.

대표청구항 ▼

샘플(08)에 대한 광 간섭 데이터를 취득하는 WSI(White Scanning Interferometer), 샘플(08)에 대한 무간섭 광 데이터를 취득하는 EDF(Extender Depth of Focus)를 다수의 광분할기(02,04,09)와 선형편광기(01,05,07,10,14)로 결합하여 상호 영향없이 샘플(08) 표면의 기울기가 광학계의 NA(Numerical Aperture) 보다 클 경우, 표면의 거칠기가 너무 커 반사가 잘 이루어지지 않는 경우, 표면이 매끄럽지만 재질의 특성상 반사가 잘 이루어지지 않는 경우에도 정

샘플(08)에 대한 광 간섭 데이터를 취득하는 WSI(White Scanning Interferometer), 샘플(08)에 대한 무간섭 광 데이터를 취득하는 EDF(Extender Depth of Focus)를 다수의 광분할기(02,04,09)와 선형편광기(01,05,07,10,14)로 결합하여 상호 영향없이 샘플(08) 표면의 기울기가 광학계의 NA(Numerical Aperture) 보다 클 경우, 표면의 거칠기가 너무 커 반사가 잘 이루어지지 않는 경우, 표면이 매끄럽지만 재질의 특성상 반사가 잘 이루어지지 않는 경우에도 정확한 형상을 측정할 수 있도록 구성하되,상기 WSI는, 동축 조명계(Coaxial illumination)로부터 방사된 무편광 빛을 선형 편광시키는 제1선형편광기(01); 선형 편광된 빛을 일부 투과시키고, 일부 반사시는 제1광분할기(02); 상기 제1광분할기(02)를 투과한 빛을 모으는 대물렌즈(03); 상기 대물렌즈(03)를 투과한 빛을 반사, 투과시키는 제2광분할기(04); 상기 제2광분할기(04)를 투과한 빛을 선형평광시켜 샘플(08)로 조사시키는 제2선형편광기(07); 상기 제2광분할기(04)에서 반사된 빛을 선형편광시키는 제4선형편광기(05); 상기 제4선형편광기(05)를 통과한 빛을 반사시켜 상기 제2광분할기(04)를 투과한 빛과의 광로차를 발생시켜 광 간섭을 유도하는 기준거울(06); 상기 샘플(08)과 상기 기준거울(06)로부터 반사된 빛을 선형편광시켜 제1이미징렌즈(11)를 통해 제1검출기(12)로 안내하는 제3선형편광기(10);를 포함하여 구성되고,상기 EDF는, 상기 제1광분할기(02)와 제3선형편광기(10) 사이에 구비되어 제1광분할기(02)를 투과한 빛을 반사, 투과시키는 제3광분할기(09); 상기 제3광분할기(09)에서 반사된 빛 중 샘플(08)로부터 반사된 빛만을 통과시키도록 선형편광시키는 제5선형편광기(14); 상기 제5선형편광기(14)를 통해 편광된 빛을 수직하게 반사시키는 거울(15); 상기 거울(15)을 통해 반사된 빛을 모아 제2검출기(17)를 통해 검출 가능하게 하는 제2이미징렌즈(16);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.