[특허]폴리싱 시스템 및 폴리싱 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/304 B24B-037/04
출원번호	10-2013-0023785 (2013-03-06)
공개번호	10-2014-0073382 (2014-06-16)
등록번호	10-1496539-0000 (2015-02-17)
우선권정보	미국(US) 13/706,506 (2012-12-06)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020130023785
발명자 / 주소	린 시치 / 타이완 신추 시티 *** 이스트 디스트릭트 강다오 번 로드 섹션 넘버 * F 오 쿤타이 / 타이완 신추 시티 * 이스트 디스트릭트 관신 로드 래인 넘버 F 초우 요우화 / 타이완 신추 시티 *** 이스트 디스트릭트 광화 스트리트 래인 * 넘버 * 리 치승 / 타이완 신추 시티 * 밍후 로드 래인 * 넘버 * 홍 민하오 / 타이완 카오슝 시티 * 치안젠 디스트릭트 강산 사우쓰 스트리트 래인 * 앨리 ** 넘버 * 오 치젠 / 타이완 신추 카운티 추동 타운 유안산 로드 앨리 * 래인 넘버 황 첸밍 / 타이완 신추 시티 * 노쓰 디스트릭트 광화 세컨드 스트리트 래인 *** 넘버 * 황 순캉 / 타이완 신추 바오산 로드 래인 * 앨리 *- 찬 친시앙 / 타이완 뉴 타이페이 시티 * 슈린 디스트릭트 동화 스트리트 넘버 F 양 치유안 / 타이완 신추 시티 ** 시핀 로드 넘버 *
출원인 / 주소	타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드 / 중화민국, 타이완 *-, 신츄, 사이언스-베이스드 인더스트리얼 파크, 리신 로드. , 호
대리인 / 주소	김태홍
심사청구여부	있음 (2013-03-06)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

반도체 웨이퍼를 폴리싱하기 위한 폴리싱 시스템은 반도체 웨이퍼를 홀딩하기 위한 웨이퍼 지지대, 및 반도체 웨이퍼의 영역을 폴리싱하기 위한 제1 폴리싱 패드를 포함한다. 반도체 웨이퍼는 제1 직경을 가지며, 제1 폴리싱 패드는 제1 직경보다 짧은 제2 직경을 갖는다.

대표청구항 ▼

반도체 웨이퍼를 폴리싱하기 위한 폴리싱 시스템에 있어서,제1 직경을 갖는 반도체 웨이퍼를 홀딩하기 위한 웨이퍼 지지대;상기 반도체 웨이퍼를 폴리싱하기 위한 메인 폴리싱 패드 - 상기 메인 폴리싱 패드는 상기 제1 직경보다 큰 직경을 가짐 - ;상기 반도체 웨이퍼의 토포그래피(topography)와 관련된 파라미터들을 판독하고 상기 토포그래피와 관련된 파라미터들에 기초하여 상기 반도체 웨이퍼에 대한 상기 토포그래피와 관련된 계측 정보를 생성하기 위한 계측 툴; 및상기 토포그래피와 관련된 계측 정보에 기초하여 상기 반도체 웨이퍼의 제1

내보내기 메뉴

내보내기 구분

파일저장
인쇄
메일전송

구성항목

기본정보
상세정보

관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC

저장형식

Text(ASCII format)
Excel format
PIAS분석(.xls)

메일정보

받는사람 (필수): @
보내는사람 (선택): @
제목
내용: KISTI 검색결과 이메일 서비스

안내

총 건의 자료가 검색되었습니다.

다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000)

검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다.

데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요)

다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다.
파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오.

Text(ASCII format)
Excel format

AI-Helper ※ AI-Helper는 을 사용합니다.

AI-Helper

안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

연합인증

폴리싱 시스템 및 폴리싱 방법 원문보기

초록

대표청구항 ▼

연구과제 타임라인

이 특허에 인용된 특허 (3)

관련 콘텐츠

특허 원문 보기

IPC 상위 출원인

이 특허와 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
저장형식	Text(ASCII format) Excel format PIAS분석(.xls)
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format