[특허]기판 열처리 장치

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[한국특허] 기판 열처리 장치
Thermal treatment device for substrate 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/205 H01L-021/324
출원번호	10-2013-0041715 (2013-04-16)
공개번호	10-2014-0124236 (2014-10-24)
등록번호	10-1982726-0000 (2019-05-21)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020130041715
발명자 / 주소	전홍희 / 경기도 용인시 기흥구 금화로번길 , *동 호(상갈동, 금화마을주공단지아파트) 최석진 / 경기도 수원시 장안구 장안로 *, 동 *호(정자동, 동신차아파트)
출원인 / 주소	주식회사 탑 엔지니어링 / 경상북도 구미시 고아읍 농공단지길 -
대리인 / 주소	특허법인우인
심사청구여부	있음 (2018-01-03)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명은 기판을 열처리하는 도어 셔터를 구비하는 기판 열처리 장치에 관한 것으로서, 일측에 개구부를 구비하는 챔버와; 상기 챔버의 상기 개구부측에 배치되며, 상기 기판이 상기 챔버의 내부로 로딩(loading), 또는 상기 챔버의 내부로부터 언로딩(unloading)되게 통로를 제공하는 슬릿홀을 구비하는 도어부와; 상기 챔버의 상기 개구부를 차폐하거나 상기 개구부의 일 영역에 상기 슬릿홀이 배치되도록 상기 도어부를 이동시키는 구동부를 포함한다. 이에 따라, 슬릿홀을 이용하여 기판을 로딩 또는 언로딩하기 때문에 챔버 내부로부터 외부

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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