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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2013-0043398 (2013-04-19) | |
등록번호 | 10-1303706-0000 (2013-08-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130043398 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-04-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 웨이퍼 반송용 로봇핸드에 관한 것으로서, 하부가 개방된 통상으로서 상면 일측에 공기배출구가 형성된 상부몸체 및 상부가 개방된 통상으로서 상기 상부몸체의 하부에 결합되고 저면 중앙부에 흡기공이 형성되며 저면 외측 둘레를 따라 환턱이 형성되며 상면에는 내측방향으로 하향경사진 제 1 공기유도면이 형성된 하부몸체 및 상기 상부몸체 또는 상기 하부몸체 내면 일측에 결합되고 상면 일측에 공기분사기가 설치되며 저면 일측에 상기 공기분사기를 통해 분사되는 공기를 상기 제 1 공기유도면을 향해 비스듬히 분사시키는 적어도 하나의 공기분사구
다축 관절 로봇의 종단에 설치되어 웨이퍼를 이송시킬 수 있도록 한 웨이퍼 반송용 로봇핸드에 있어서,하부가 개방된 통상으로서 상면 일측에 공기배출구가 형성된 상부몸체와;상부가 개방된 통상으로서 상기 상부몸체의 하부에 결합되고, 저면 중앙부에 흡기공이 형성되며, 저면 외측 둘레를 따라 환턱이 형성되며, 상면에는 내측방향으로 하향경사진 제 1 공기유도면이 형성된 하부몸체와;상기 상부몸체 또는 상기 하부몸체 내면 일측에 결합되고, 상면 일측에 공기분사기가 설치되며, 저면 일측에 상기 공기분사기를 통해 분사되는 공기를 상기 제 1 공기유도면
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